EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Erittäin puhtaat kaasut elektroniikkaan Monofluorimetaani 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Metyylifluoridi CH3F
- Yleiskatsaus
- tiedustelu
- Liittyvät tuotteet
Erittäin puhtaat kaasut elektroniikkaan Monofluorimetaani 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Metyylifluoridi CH3F
AGEM tuottaa ja myydä erittäin puhdasta monofluorimetaanikaasua (CH3F) käytettäväksi puolijohdesirujen valmistusprosessissa.
fluorimetaani, Tunnetaan myös metyylifluoridina, Freon 41, Halocarbon-41 ja HFC-41, on myrkytön, nesteytettävä kaasu normaalilämpötilassa ja -paineessa. Se on valmistettu hiilestä, vedystä ja fluorista. Nimi juontaa juurensa siitä tosiasiasta, että se on metaani (CH4), jossa yksi vetyatomeista on korvattu fluoriatomilla. Sitä käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa etsauskaasuna plasmaetsausreaktoreissa.
fluorimetaani, Yleisemmin kutsuttu metyylifluoridi (MeF) tai Halocarbon 41 on myrkytön nesteytettävä kaasu, jota käytetään puolijohde- ja elektroniikkatuotteiden valmistuksessa. RF-kentän läsnäollessa se hajoaa fluori-ioneiksi piiyhdistekalvojen selektiivistä syövytystä varten.
Hakemus:CH3F on erikoiskaasu, jota käytetään puolijohdesirujen valmistusprosessissa nitridikalvon mikrokoneistukseen syövyttämällä. CH3F:ää käytetään pääasiassa puolijohdemuistisirujen valmistukseen, mukaan lukien NAND-flash- ja DRAM-muistit, jotka vaativat mikrokoneistustekniikkaa. Koska sen syövytysselektiivisyys on korkeampi kuin muiden kaasujen, CH3F soveltuu 3D NAND -salaman monikerroksisen rakenteen mikrotyöstöön. CH3F:n kysyntä on kasvanut näinä päivinä johtuen monien 3D NAND-salaman valmistuslinjojen käynnistämisestä.
