EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Korkean puhtauden kaasut elektroniikkatarkoituksiin Monofluoromethaani 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Metyyli fluaari CH3F
- Yleiskatsaus
- Kysely
- Liittyvät tuotteet
Korkean puhtauden kaasut elektroniikkatarkoituksiin Monofluoromethaani 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Metyyli fluaari CH3F
AGEM tuottaa ja myydä korkean puisteen monofluorometaanikaasua (CH3F), jota käytetään semikonduktorinippujen valmistusprosessissa.
Fluorometaani, jota tunnetaan myös nimellä metyyli fluoriidi, Freon 41, Halokarboni-41 ja HFC-41, on ei-kylläistä kaasua, joka voidaan vedettyä standarditemperatuurilla ja -painossa. Se koostuu hiilen, hyngryen ja fluorin yhdistelmästä. Nimi peräisin siitä, että se on metaani (CH4), jossa fluoriatomki on korvannut yhden hyngrydatomiksi. Sitä käytetään semikonduktoriteollisuudessa etkkaa-gaasuna plasma-etkkausreaktoreissa.
Fluorometaani, jonka nimi on yleisemmin metyyli fluoriidi (MeF) tai Halokarboni 41, on ei-kylläinen vedettävä kaasu, jota käytetään semikonduktorien ja elektronisten tuotteiden valmistuksessa. RF-kentän läsnäolossa se hajottuu fluoriaatomioksi valitettavaksi etkkaamiseksi silikoniyhdistelmien elokuvista.
SOVELLUS :CH3F on erikoiskaasu, jota käytetään semikonduktorichippien valmistusprosessissa mikromekanoiden nitriidilevyn etchanttimiseksi. CH3F käytetään pääasiassa NAND-levyjen ja DRAM-muistichippien valmistuksessa, jotka edellyttävät mikromekanointitekniikkaa. Sen etchanttivalinta on korkeampi kuin muiden kaasujen, joten CH3F sopii hyvin 3D NAND-levyn monitasoiselle rakennelmalle suoritettavalle mikromekanoinnille. CH3F:ta koskeva kysyntä on kasvanut viime aikoina monien 3D NAND-levyjä valmistavien linjojen käynnistymisen takia.
