- Yleiskatsaus
- tiedustelu
- Liittyvät tuotteet
C5F8 Oktafluorisyklopenteenikaasu
Käytetään laajasti puolijohdelaitteiden valmistuksen etsausprosessissa, erityisesti pienimpien geometristen ominaisuuksien (kuten liitoslinjojen, koskettimien, kaivojen jne.) koon ja selektiiviseen syövytykseen.