Erittäin puhdas 99.999 % elektroninen laatu Puolijohdekäyttöön C4F6-kaasu, oktafluorisyklobutaanikaasu Suomi

tiedustelu

Yleiskatsaus
tiedustelu
Liittyvät tuotteet

Kuivaetsausoksidipohjaiset materiaalit Puristetut nesteytetyt kaasut Perfluori 2 butyyni H 2316 Perfluori2butyyni C4F6

Heksafluori-1,3-butadieeni on myrkyllinen, väritön, hajuton, syttyvä nesteytetty painekaasu

Vuosien tutkimus on osoittanut, että C4F6 (H-2316) tarjoaa useita etuja oksidipohjaisten materiaalien kuivaetsauksessa:

Sillä on korkeampi etsausnopeus ja selektiivisyys kuin oktafluorisyklobutaanilla (c-C4F8 – H318), joka on toinen laajalti käytetty piioksidin etsausaine. Toisin kuin C4F8 (H318), C4F6:lla (H2316), vain dielektrinen substraatti syövytetään. Syövytetyn rakenteen kuvasuhde on suurempi, mikä johtaa kapeampiin kaivantoihin verrattuna c-C4F8:aan. VOC-päästöt vähenevät: C4F6:lla (H2316) on alhainen ilmaston lämpenemispotentiaali, koska sen käyttöikä ilmakehässä on paljon lyhyempi.

Sovellus:

LSI:n tuotantoprosesseissa tarvitaan seuraavan sukupolven ydinmateriaaleja piirilinjojen leveyden ja syvyyden minimoimiseksi. Kuivaa etsauskaasua käytetään mikrokontaktireikien syövytyksessä. CxFy-kemialliseen kaavaan perustuville erikoiskaasuille mitä pienempi F/C-arvo on, sitä enemmän CF2-ryhmiä muodostuu. C2F6 C3F8:aan verrattuna C4F6:lla on pienempi F/C-suhde ja se tuottaa enemmän CF2-ryhmiä, mikä puolestaan syövyttää enemmän oksidikalvoa. Siksi C4F6:lla on korkeampi selektiivisyys oksidikalvolle ja se mahdollistaa tasaisemman syövytyksen.