EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Yleiskatsaus
- Kysely
- Liittyvät tuotteet
Tuotetiedot:
Tetrafluorokarboni on kriojäähdytysaine, joka on suhteellisen inertti normaalieuksissa, syttyvyyden vaihtaja ja myös käytössä erilaisissa waferin etkisyprosesseissä.
CF4 on tällä hetkellä laajimmin käytetty plasma-etsintäkaasu mikroelektroniikka-alalla. Sitä voidaan käyttää laajasti ohuen kemiallisten aineiden, kuten silikonin, silikonidiooksidin, silikoninitridin, fosforisilikaattilasi ja tungsteenin etsintään sekä sähköisten laitteiden ja aurinkopaneelien pinnan puhdistamiseen. Se käytetään myös laajasti laseritekniikan tuotannossa, kaasufaasin isoloinnissa, alatemppuisessa jäähdytyksessä, vajojen havaitsemisaineina, avaruusrakettien suuntaukseen sekä tulostuspiirien valmistuksessa hygieniatoimittimina.
Huolimatta hiilinektaanin kemiallisesta vakaudesta, hiilinektaania voidaan käyttää metallien hiekkaamisessa ja muoviteollisuudessa.
