EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Tehdashintainen elektroninen luokka 5N korkea puhtaus 99.999 % tetrafluorimetaani CF4 kaasu
- Yleiskatsaus
- tiedustelu
- Liittyvät tuotteet
Tuotetiedot:
Hiilitetrafluoridi on kryogeeninen kylmäaine, joka on suhteellisen inertti normaaleissa olosuhteissa, hapen syrjäyttäjä, ja sitä käytetään myös erilaisissa kiekkojen etsausprosesseissa.
CF4 on tällä hetkellä eniten käytetty plasmaetsauskaasu mikroelektroniikkateollisuudessa. Sitä voidaan käyttää laajalti ohutkalvomateriaalien, kuten piin, piidioksidin, piinitridin, fosfosilikaattilasin ja volframin etsaukseen sekä elektronisten laitteiden ja aurinkokennojen pintojen puhdistukseen. Sitä käytetään myös laajasti lasertekniikan, kaasufaasieristyksen, matalan lämpötilan jäähdytyksen, vuodonilmaisuaineiden, avaruusrakettien asenteen hallinnassa ja painettujen piirien tuotannossa dekontaminoivien aineiden tuotannossa.
Hiilitetrafluoridin kemiallisen stabiiliuden vuoksi hiilitetrafluoridia voidaan käyttää metallisulatuksessa ja muoviteollisuudessa
