EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Yleiskatsaus
- tiedustelu
- Liittyvät tuotteet
Puolijohdeprosessin plasmapinnoituskaasu ja etsausaine 99.9 % C318 perfluorisyklobutaani kylmäainekaasu C4F8
Puolijohdemateriaalien ja -laitteiden valmistuksessa oktafluorisyklobutaani toimii saostuskaasuna ja etsausaineena. Sitä on myös tutkittu kylmäaineena erikoissovelluksissa otsonikerrosta heikentävien kloorifluorihiilivetykylmäaineiden korvikkeena. Hyödyntämällä sen haihtuvuutta ja kemiallista inertiteettiä, oktafluorisyklobutaania voi löytyä joistakin aerosolisoiduista elintarvikkeista. Codex Alimentarius on listannut sen numerolla 946 (EU:lle E946). Sitä tutkitaan mahdollisena korvaajana rikkiheksafluoridille dielektrisenä kaasuna.
C4F8, HALOCARBON C318 99.8 % G 10LBS, C4F8, puolijohdeprosessikaasu, soveltuu seuraaviin kohteisiin: elektroniikka, puolijohdeprosessi, lisäaine, etsausaine, reaktantti, valmistus, reaktorit, piiprekursori, kaasut, vakiopuhdistus, CHA3183, jäähdytysaineet.
