- Yleiskatsaus
- Kysely
- Liittyvät tuotteet
Semikonduktoriprosessiin plasma-depositiokaasu ja -syöttäjä 99,9% C318 perfluorosyklubutaani kaasu hylöntäaineet C4F8
Semikonduktorimateriaalien ja laitteiden tuotannossa oktafluorosyklubutaani toimii depositiokaasuna ja syöttäjänä. Sen on myös tutkittu erikoissovelluksissa käytettävänä hylöntäaineena, korvausaineena ozonikiertoon vaikuttaville kloorifluorikaasuhylönteille. Sen hienovaraisuuden ja kemiallisen inertisuuden hyödyntämiseksi oktafluorosyklubutaania voidaan löytää joissakin aerosolisoituissa ruokavaroissa. Se on luetteloinut Codex Alimentariusin numerolla 946 (E946 EU:ssa). Sitä tutkitaan mahdollisena korvausaineena heksafluorisulfiidille dielektrisena kaasuna.