Puolijohteita on kaikessa, älypuhelimista ja henkilökohtaisista tietokoneista kaikkiin muihin elektronisiin laitteisiin. Ne on valmistettava tietyn prosessin kautta ja niissä on käytettävä useita kaasuja. Seuraavassa on selostus useista kaasutyypeistä, joita vain yksi teollinen käyttö on tarkoitettu ja kuinka nämä huipputekniset aineet on tarkoitettu luomaan asioita, joihin todella luotamme. Puolijohteiden valmistuksen maailmoissa käytetyt monet erilaiset kaasutyypit Puolijohteet muodostetaan käyttämällä monimutkaisia prosesseja, kuten syövytystä, pinnoitusta ja puhdistusta. Näiden kaasujen erilaiset ominaisuudet ja sovellukset vaihtelevat tiettyjen käyttötarkoitusten tai ilmakehän olosuhteiden mukaan, olipa kyse teollisuuskaasun toimittajista, tunnetuista erikoispuolijohdekaasun toimittajista tai laboratorioista, jotka tarjoavat laajan spektrin, joka sopii niille kaikille tarvittavilla kriittisillä ominaisuuksilla. suorittaa tehtävän tarkoituksellisesti tyydyttävänä. Tästä syystä esittelemme tänään muutamia johtavia kaasuja materiaalinvalmistusprosesseissa. Silaani SiH4: Tämä kaasu on väritöntä ja edustettuna myös merkittävänä piipohjaisena elektroniikkamateriaalina. Sen tiedetään olevan erittäin dynaaminen ja reagoi nopeasti hapen ja veden kanssa muodostaen piioksidia SiO:ta ja vetykaasua. Silaania voidaan käyttää silikonipohjaisen materiaalin, kuten SiNx:n, sijoittamiseen joko nopeasti tai suhteellisen alhaisessa lämpötilassa. Typpi-N2-elementti: Tämä kaasu on inertti ja estää hapettumista. Sitä valmistetaan jatkuvasti ja sitä tarvitaan laitteen puhdistamiseen huoltoprosessissa O2- ja kosteuspiikin poistamiseksi. Tällaista kaasua käytetään helpottamaan ja kuljettamaan myös muiden kaasujen toimintaa, toimimaan kantokaasuna nikromihöyrypinnoituksessa ja plasmatehostetussa nikromihöyrypinnoituksessa.
Vety (H2) - Vetyä käytetään pelkistävänä kaasuna poistamalla epäpuhtaudet materiaaleista. Puolijohteiden valmistuksessa se on siirtymässä useisiin prosesseihin, kuten hehkutukseen ja puhdistukseen. Lisäksi vety tekee metalliportin, josta valmistetaan etukäteen CMOS-laitteita.
Stabiili happi (O2/O) - syötä arkkien ja spesifikaatioiden läpimenoajat jne. O Kaasu Vaikka happea käytetään monissa plasmaprosesseissa, kuten syövytyksessä ja nauhassa/tuhkassa o ]]>, se toimii myös reagoivana aineena piipohjaisen hapetuksen yhteydessä. materiaalit SiOx:ksi tai passivoivat metallipinnat hapettumisen kautta.
Kloori (Cl2): Kloori on keltainen tai punainen savuava, ei-metalli, jolla on pistävä haju nesteenä. Tämä kaasu, joka on erittäin reaktiivinen piipohjaisten materiaalien, piidioksidin ja monien metallien, kuten alumiinin, kanssa, on nähnyt useita sovelluksia puolijohderakenteiden syövytyksessä.
Kaasujen käyttö puolijohteiden valmistuksessa on johtanut korkealaatuisen elektroniikan luomiseen, joka on tuotettu lisääntyneen puolijohteiden valmistuskyvyn ansiosta. Kaasuilla on myös useita merkittäviä käyttötarkoituksia ja etuja puolijohdeteollisuudessa.
Kaasuja, kuten silaania, ammoniakkia ja typpeä, käytetään kerrostamaan piioksidia tai nitridiä, jotka ovat puolijohteiden ohuita kalvoja. Laskeuma.
Etsaus: Sitä käytetään ei-toivottujen materiaalien tai kuvioiden selektiiviseen poistamiseen puolijohteista käyttämällä kaasuja, kuten klooria, fluoria ja happea.
Prosessikaasut: Vetyä ja typpeä tarvitaan puolijohteiden puhdistuslaitteiden toimintaan (puhdistukseen), jotta voidaan vähentää epäpuhtauksia, jotka voivat vaikuttaa laitteen suorituskykyyn.
Tyhjennys: Yksi sen tärkeimmistä käyttötavoista on se, että se toimii tyhjennyskaasuna laitteiden huoltotöiden aikana, mikä poistaa hapen ja kosteuden järjestelmästä ja pitää materiaalit linjassa vapaana.
Tämän seurauksena yhä kehittyneempien materiaalien ja prosessien etsintä ei näe loppua puolijohdeteollisuuden edetessä. Parannetut kaasut ovat välttämättömiä tuleville puolijohteiden kehitykselle. Tässä on vain muutamia näistä puolijohteiden valmistuksen korkean teknologian kaasuista:
Fluorihiilivedyt: Syy siihen, että fluoratut kaasut ovat hyviä tekniikan tason piirien suunnittelussa, johtuu siitä, että ne reagoivat aggressiivisesti ja selektiivisesti sekä syövytykseen (poista palat) että kerrostumiseen (lisää osia).
CO2 - Inertti kaasu, jota käytetään esimerkiksi sputterointiin, CVD:hen ja puhdistukseen.
Vaikka se olisi nähtävä askeleena eteenpäin puolijohteiden valmistuksessa, johtuen pelkästään uusista nykyään mahdollisista toimitusjärjestelmistä. Valmistajat etsivät jatkuvasti tapoja parantaa tehokkuutta, vähentää jätettä ja lisätä turvallisuutta. Jotkut uusimmista kehittyneistä kaasuista ja nyt saatavilla olevista kemikaalien jakelujärjestelmistä on lueteltu alla.
Kaasunsyöttöjärjestelmä (kaasuille, jotka ohjaavat tarkasti pieniä määriä puolijohteissa tarvittavia kaasu-/nestekemikaaleja)
Lähde: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems otsoniplasma ja vetyperoksidi tehokkaimmille menetelmille epäpuhtauksien puhdistamiseen puolijohdemateriaalista.
Puolijohdekaasut voivat lisätä tehokkaamman elektroniikan kysyntää, mutta ne voivat myös aiheuttaa vaarallisia ympäristöuhkia. On olemassa joitakin ohjelmia jätteiden vähentämiseksi ja kaasun kierrättämiseksi muun muassa puolijohdeteollisuudessa. Tämä ei eroa siitä, miten valmistajat pyrkivät lieventämään puolijohdekaasuihin liittyviä ympäristöhuoleja;
Ensimmäinen ja suorin on jätteen vähentäminen -> Valmistajat etsivät aina puolijohdevalmistuksen aikana syntyvän jätteen määrän vähentämistä. Esimerkiksi käytettyjen kemikaalien ja kaasujen määrän vähentäminen, kierrätys mahdollisuuksien mukaan tai suljetun kierron järjestelmien luominen.
Kierrätä Kaasujen ja kemikaalien kierrätys on jälleen yksi keskeinen menetelmä, joka auttaa vähentämään ympäristövaikutuksia. Jätteen syntymistä voidaan helposti minimoida valmistajat, jotka mahdollistavat tuotannon aikana käytettyjen kaasujen tai kemikaalien talteenoton, pesun ja kierrätyksen.
Yhteenveto: Kaasut ovat välttämättömiä joidenkin parhaiden elektroniikan valmistuksessa. Valmistajat ovat sitoutuneet parantamaan sekä kehittyneitä kaasuja että toimitusratkaisuja, jotka edistävät optimaalisia prosesseja, jätteiden vähentämistä ja yhteisön turvallisuutta. Puolijohdesektori tulee laskemaan myös kaasun kulutuspolulle, ja näiden kaasujen yleinen ympäristöjalanjälki on käynnistänyt useita kestävän kehityksen kampanjoita viime vuosina.
AGEM ymmärtää, että jokainen asiakas tarvitsee eri asioita erikoiskaasujen, kuten kalibrointikaasun, alalla. Tarjoamme räätälöityjä ratkaisuja asiakkaidemme erityistarpeisiin. Jos tarvitset tietyn puhtausmäärän, sylinterin koon tai pakkausvaihtoehtoja, AGEM voi työskennellä kanssasi räätälöidäkseen tuotteensa täsmällisten vaatimusten mukaan. Tämä räätälöintiaste varmistaa, että saat parhaan kalibrointikaasupullon sovelluksiisi, mikä parantaa yleistä tehokkuutta ja suorituskykyä. AGEM:n tuotevalikoima ei rajoitu kalibrointikaasuihin. AGEM:n luettelo sisältää hiilivetykaasut, halohiilivedyt, kemialliset kaasut ja harvinaiset kaasut. Voit olla varma, että AGEMilla on juuri tarvitsemasi kaasu.
Puolijohteiden valmistuksessa käytettyjen kaasujen vuodot ovat suuri ongelma. Testaamme vuotojen varalta vähintään viisi kertaa laadun varmistamiseksi. Yrityksemme tarjoaa täydellisen tuotanto- ja testauslinjan sekä tiukan laadunvalvonnan ja täydellisen huoltopalvelujärjestelmän varmistaaksemme, että asiakkaat saavat huippulaatuisia tuotteita ja täyden valikoiman palveluita. Olemme ylpeitä omistautumisestamme erinomaisen asiakaspalvelun ja korkean laadun tarjoamiseen. Ammattitaitoinen tiimimme on aina valmiina auttamaan sinua ja varmistamaan, että saat parhaan palvelun äärimmäisen tyytyväisenä. Ympärivuorokautinen palvelumme erottaa meidät muista. Olemme täällä sinua varten koko päivän, aina koko ajan.
AGEM tarjoaa laajan valikoiman kryogeenisiä sylintereitä superjäähdyttävien nesteiden ja kaasujen, kuten nestemäisen hapen ja argonin, jäähdyttämiseen. Ne voivat myös sitoa hiilidioksidia, typpeä ja typpeä. Käytämme maahantuotuja venttiileitä ja instrumentteja varmistaaksemme parhaan mahdollisen suorituskyvyn. Käytä kaasua säästäviä laitteita ja aseta etusijalle ylipainekaasun käyttö kaasufaasitilassa. Kaksinkertaiset varoventtiilit takaavat turvallisen toiminnan.Tarjoamme laajan valikoiman kryogeenisiä sylintereitä, joihin mahtuu superjäähdytettyjä nesteitä, joita käytetään jokapäiväisessä elämässä. Täysi tilavuus: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500L/1000L työpaine: 1.37 MPa / 2.3 MPa / 2.88 MPa / 3.45 MPa Sisäsäiliön suunnittelulämpötila: +196 kuorisäiliön suunnittelulämpötila: 20 °C + 50 °C Eristys: Tyhjiö monikerroksisella kääreellä Tallennettu väliaine: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM on toiminut Taiwanissa yli 25 vuotta. Meillä on laaja T- ja K-asiantuntemus tällä alueella, ja voimme tarjota ainutlaatuista asiantuntemusta erikois-, bulkki- ja kalibrointikaasujen aloilla 6 eri alueella. Taiwan - Kaohsiung City (pääkonttori, tutkimus- ja kehityskeskus) Intia - Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, DelhiKiina - WuhanLähi-itä - Dubai (UAE) ja Saudi-Arabian kuningaskunta ArabiaYhdistynyt kuningaskunta - CambridgeSolutions for kaasun tarjoamaan meille kuuluu Technical Consulting. Kokoaminen ja käyttöönotto. Näytetestaus. Pakkaus & Toimitus. Piirustus suunnittelu. Valmistus.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) on Taiwanissa sijaitseva kaasunvalmistus- ja T&K-tehdas, jolla on vertaansa vailla oleva asiantuntemus erikois-, elektroniikka-, bulkki- ja kalibrointikaasujen alalla eri puolilla maailmaa 6 eri alueella.
Huoneet 2 ja 3, 10. kerros, yksikkö 1, vaihe I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, Kiina
Tekijänoikeus © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Tietosuojakäytäntö
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ