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El silicio tetrafluoruro es un gas incoloro, corrosivo, no inflamable y tóxico. Tiene un olor muy fuerte similar al ácido clorhídrico y es mortal si se inhala. El compuesto químico tiene una base de silicio con cuatro brazos de flúor.
En el mundo natural, el SiF4 es el gas principal en algunas plumas volcánicas. El tetrafluoruro de silicio también puede producirse mediante la reducción de haluros de silicio, por la electrólisis de sílice fundido, o calentando hexafluorosilicato de bario por encima de 300° C. Además, el tetrafluoruro de silicio es un subproducto de la producción de fertilizantes.