Los semiconductores están en todo, desde sus teléfonos inteligentes y computadoras personales hasta cualquier otro tipo de dispositivo electrónico. Deben elaborarse mediante un proceso específico y utilizar multitud de gases. A continuación se destaca una descripción de los muchos tipos de gases que solo una industria utiliza y cómo estas sustancias de alta tecnología están destinadas a crear las cosas de las que realmente dependemos. Los diferentes tipos de gases utilizados en el mundo de la fabricación de semiconductores Los semiconductores se forman mediante una serie compleja de procesos como el grabado, la deposición y la limpieza. Las diversas propiedades y aplicaciones de estos gases varían en usos específicos o condiciones atmosféricas, ya sea alrededor de proveedores de gases industriales, famosos proveedores de gases semiconductores especializados o en el laboratorio, brindando un amplio espectro adecuado para todos ellos con las características críticas necesarias. cumplir la tarea como intencionalmente satisfactoria. Por hoy, por este motivo, presentamos algunos de los principales gases existentes para los procesos de fabricación de materiales. Silano SiH4: este gas es incoloro y también se representa como un importante material electrónico a base de silicio. Se sabe que es muy dinámico y reacciona rápidamente con oxígeno y agua para crear óxido de silicio SiO y gas hidrógeno. El silano se puede utilizar para colocar el material a base de silicio, como SiNx, ya sea rápidamente o a una temperatura relativamente baja. Elemento nitrógeno N2: Este gas es inerte y evita la oxidación. Se fabrica continuamente y se requiere para purgar el dispositivo en el proceso de mantenimiento para eliminar el aumento de O2 y humedad. Dicho gas también se utilizará para facilitar y transportar las actividades de otros gases, funcionará como gas portador en la deposición de vapor de nicromo y la deposición de vapor de nicromo mejorada con plasma.
Hidrógeno (H2): el hidrógeno se emplea como gas reductor eliminando impurezas de los materiales. En la fabricación de semiconductores, se importará un paso a varios procesos como el recocido y la limpieza. Además, el hidrógeno fabrica puertas metálicas que permiten la producción de dispositivos CMOS avanzados.
Oxígeno estable (O2/O): ingrese la hoja y especifique los tiempos de entrega, etc. O Gas Si bien el oxígeno se utiliza en muchos procesos de plasma como el grabado y el decapado/ceniza o ]]>, también sirve como reactivo para oxidar productos a base de silicio. materiales a SiOx o pasivación de superficies metálicas mediante oxidación.
Cloro (Cl2): El cloro es un no metal humeante de color amarillo o rojo y de olor acre en forma líquida. Este gas, que es muy reactivo con materiales a base de silicio, dióxido de silicio y muchos metales como el aluminio, ha tenido varias aplicaciones en el grabado de estructuras semiconductoras.
El hecho de que se utilicen gases en la producción de semiconductores ha llevado a la creación de productos electrónicos de alta fidelidad, producidos por el aumento de las capacidades de fabricación de semiconductores. Los gases también tienen varios usos y ventajas importantes en la industria de los semiconductores.
Gases como silano, amoníaco y nitrógeno se utilizan para depositar óxido o nitruro de silicio que formarán las finas películas de los semiconductores. Declaración.
Grabado: se utiliza para eliminar selectivamente materiales o patrones no deseados de semiconductores utilizando gases como cloro, flúor y oxígeno.
Gases de proceso: se requieren hidrógeno y nitrógeno para el funcionamiento de los equipos de limpieza de semiconductores (purificación) a fin de reducir las impurezas que pueden afectar el rendimiento del dispositivo.
Purga: Uno de sus usos principales es donde actúa como gas de purga cuando se realizan trabajos de mantenimiento en el equipo, esto para eliminar el oxígeno y la humedad del sistema manteniendo así los materiales libres en la línea.
Como consecuencia, la búsqueda de materiales y procesos cada vez más sofisticados no tiene fin a medida que avanza la industria de los semiconductores. Los gases mejorados son esenciales para los próximos avances en semiconductores. Éstos son sólo algunos de estos gases de alta tecnología en la fabricación de semiconductores:
Fluorocarbonos: la razón por la que los gases fluorados son buenos para fabricar diseños de circuitos de última generación es porque reaccionan agresiva y selectivamente tanto al grabado (eliminar piezas) como a la deposición (agregar piezas).
CO2: gas inerte utilizado para aplicaciones como pulverización catódica, CVD y limpieza.
Si bien debería verse como un paso adelante en la fabricación de semiconductores, debido simplemente a los nuevos sistemas de entrega posibles hoy en día. Los fabricantes siempre están buscando formas de mejorar la eficiencia, disminuir los residuos y aumentar la seguridad. Algunos de los sistemas avanzados de administración de gases y productos químicos más nuevos disponibles en la actualidad se enumeran justo debajo.
Sistema de suministro de gas (para gases que controlan con precisión pequeñas cantidades de productos químicos gaseosos/líquidos necesarios en semiconductores)
Fuente: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems, plasma de ozono y peróxido de hidrógeno para conocer los métodos más eficaces para limpiar impurezas del material semiconductor.
Los gases semiconductores pueden impulsar la demanda de productos electrónicos más eficaces, pero también plantean peligrosas amenazas ambientales. Existen algunos programas para reducir el desperdicio y reciclar gas, entre otras cosas, dentro de la industria de los semiconductores. Esto no es diferente de cómo los fabricantes están trabajando para apaciguar las preocupaciones ambientales relacionadas con los gases semiconductores;
El primero y más directo es la Reducción de Residuos -> Los fabricantes siempre están buscando reducir la cantidad de residuos producidos durante la fabricación de semiconductores. Cosas como reducir la cantidad de productos químicos y gases utilizados, reciclarlos cuando sea posible o crear sistemas de circuito cerrado.
Reciclar ' El reciclaje de gases y productos químicos será otro método crucial que ayudará a reducir los resultados medioambientales. La generación de residuos puede minimizarse mucho más fácilmente mediante fabricantes que permitan la recuperación, depuración y reciclaje de gases o productos químicos utilizados durante la producción.
Resumen: Los gases son esenciales para la fabricación de algunos de los mejores productos electrónicos que existen. Los fabricantes se dedican a mejorar tanto los gases avanzados como las soluciones de entrega que favorezcan los procesos óptimos, la reducción de residuos y la seguridad de la comunidad. El sector de los semiconductores también seguirá la senda del consumo de gas, y la huella ambiental general de estos gases ha impulsado muchas campañas de sostenibilidad en los últimos años.
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