Όλα

Υψηλής καθαρότητας 99.999% ηλεκτρονικός βαθμός για χρήση ημιαγωγών C4F6 αέριο αέριο οκταφθοροκυκλοβουτάνιο

Υψηλής καθαρότητας 99.999% ηλεκτρονικός βαθμός για χρήση ημιαγωγών C4F6 αέριο αέριο οκταφθοροκυκλοβουτάνιο Ελλάδα

Ερώτηση

Επισκόπηση
Ερώτηση
Σχετικά προϊόντα

Υλικά με βάση οξείδιο ξηρής χάραξης Συμπιεσμένα υγροποιημένα αέρια Perfluoro 2 butyne H 2316 Perfluoro2butyne C4F6

Το εξαφθορο1,3-βουταδιένιο είναι ένα τοξικό, άχρωμο, άοσμο, εύφλεκτο υγροποιημένο συμπιεσμένο αέριο

Χρόνια έρευνας έχουν δείξει ότι το C4F6 (H-2316) παρουσιάζει πολλά πλεονεκτήματα για την ξηρή χάραξη υλικών με βάση το οξείδιο:

Έχει υψηλότερο ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα από το οκταφθοροκυκλοβουτάνιο (c-C4F8 – H318), ένα άλλο ευρέως χρησιμοποιούμενο χαρακτικό για το οξείδιο του πυριτίου. Σε αντίθεση με το C4F8 (H318), με το C4F6 (H2316), μόνο το διηλεκτρικό υπόστρωμα είναι χαραγμένο. Η χαραγμένη δομή έχει υψηλότερο λόγο διαστάσεων, που οδηγεί σε στενότερες τάφρους σε σύγκριση με το c-C4F8. Οι εκπομπές VOC μειώνονται: Το C4F6 (H2316) έχει χαμηλό δυναμικό υπερθέρμανσης του πλανήτη επειδή έχει πολύ μικρότερη διάρκεια ζωής στην ατμόσφαιρα.

Εφαρμογή:

Η επόμενη γενιά υλικών πυρήνα που απαιτείται στις διαδικασίες παραγωγής LSI για την ελαχιστοποίηση του πλάτους και του βάθους της γραμμής κυκλώματος. Το ξηρό αέριο χάραξης χρησιμοποιείται σε μια διαδικασία χάραξης οπών μικροεπαφής. Για ειδικά αέρια με βάση τον χημικό τύπο CxFy, όσο μικρότερη είναι η τιμή F/C, τόσο περισσότερες ομάδες CF2 παράγονται. Σε σύγκριση με το C2F6 C3F8, το C4F6 έχει μικρότερο λόγο F/C και παράγει περισσότερες ομάδες CF2, οι οποίες με τη σειρά τους χαράσσουν περισσότερο φιλμ οξειδίου. Επομένως, το C4F6 έχει υψηλότερη επιλεκτικότητα στο φιλμ οξειδίου και επιτρέπει μια πιο ομοιόμορφη χάραξη.