EL
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Περιγραφή
- Ερώτημα
- Σχετικά Προϊόντα
Στερευματική Εξωση Με Βάση Οξείδια Συμπιεσμένα Υγροποιημένα Αέρια Περιφλόρωση 2 butyne H 2316 Περιφλόρωση 2 butyne C4F6
Hexafluoro1,3‐butadiene είναι τοξικό, αχρώματο, αοσματικό, εξαεριστικό υγροποιημένο συμπιεσμένο αέριο
Χρόνια έρευνας έχουν δείξει ότι το C4F6 (H-2316) παρουσιάζει αρκετές προβλέψεις για στερευματική εξωση με βάση οξείδια:
Έχει υψηλότερο ρυθμό εκβολής και επιλεκτικότητα από τον octafluorocyclobutane (c-C4F8 – H318), ένα άλλο ευρέως χρησιμοποιούμενο εκβολείς για διάφανο οξείδιο. Αντίθετα με το C4F8 (H318), με το C4F6 (H2316), εκβάλλεται μόνο η υλική ουσία του υποκτίσματος. Η εκβολιά δομή έχει υψηλότερο παράγοντα, που οδηγεί σε στενότερες φορές σε σύγκριση με το c-C4F8. Οι εκπομπές VOC μειώνονται: το C4F6 (H2316) έχει χαμηλότερο δυναμικό παγκόσμιας θέρμανσης επειδή έχει μικρότερη ζωή στην ατμόσφαιρα.
Εφαρμογή:
Η επόμενη γενιά των βασικών υλικών που απαιτούνται στις διαδικασίες παραγωγής LSI για να ελαχιστοποιηθεί η πλάτος και βάθος των γραμμών κυκλωμάτων. Το αέριο ξηρής εκβολής χρησιμοποιείται σε μια διαδικασία εκβολής μικρών επαφών. Για ειδικά αέρια με βάση την ταυτοτική τύπωση CxFy, όσο μικρότερη είναι η τιμή F/C, τόσο περισσότερα ομάδες CF2 παράγονται. Σε σύγκριση με το C2F6 και το C3F8, το C4F6 έχει μικρότερο αναλογικό F/C και παράγει περισσότερες ομάδες CF2, που εξαιτίας αυτών εκβάλλει περισσότερο το φιλμ οξείδιου. Επομένως, το C4F6 έχει υψηλότερη επιλεκτικότητα στο φιλμ οξείδιου και επιτρέπει πιο ομοιόμορφη εκβολή.
