Όλες οι κατηγορίες
ENEN

αέρια που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών

Οι ημιαγωγοί βρίσκονται σε όλα, από τα smartphone και τους προσωπικούς υπολογιστές σας μέχρι οποιοδήποτε άλλο είδος ηλεκτρονικού gadget. Πρέπει να γίνουν μέσα από μια συγκεκριμένη διαδικασία και να χρησιμοποιούν πλήθος αερίων. Τα παρακάτω υπογραμμίζουν μια περιγραφή των πολλών τύπων αερίων που χρησιμοποιεί μόνο μία βιομηχανική χρήση και πώς αυτές οι ουσίες υψηλής τεχνολογίας προορίζονται για τη δημιουργία των πραγμάτων στα οποία βασιζόμαστε στην πραγματικότητα. Οι πολλοί διαφορετικοί τύποι αερίου που χρησιμοποιούνται στους κόσμους της παραγωγής ημιαγωγών Οι ημιαγωγοί σχηματίζονται χρησιμοποιώντας μια πολύπλοκη σειρά διαδικασιών όπως η χάραξη, η εναπόθεση και ο καθαρισμός. Οι διάφορες ιδιότητες και εφαρμογές αυτών των αερίων ποικίλλουν σε συγκεκριμένες χρήσεις ή ατμοσφαιρικές συνθήκες, είτε πρόκειται για προμηθευτές βιομηχανικού αερίου, εξειδικευμένους προμηθευτές αερίου ημιαγωγών ή στο εργαστήριο, παρέχοντας ένα εκτεταμένο φάσμα κατάλληλο για όλους με τα κρίσιμα χαρακτηριστικά που απαιτούνται να εκπληρώσει το καθήκον ως σκόπιμα ικανοποιητικό. Για σήμερα, για αυτό το λόγο, εισάγουμε μερικά από τα κορυφαία αέρια για τις διαδικασίες κατασκευής υλικών. Σιλάνιο SiH4: Αυτό το αέριο είναι άχρωμο και αντιπροσωπεύεται επίσης ως σημαντικό ηλεκτρονικό υλικό με βάση το πυρίτιο. Είναι γνωστό ότι είναι πολύ δυναμικό και αντιδρά γρήγορα με το οξυγόνο και το νερό για να δημιουργήσει οξείδιο του πυριτίου SiO και αέριο υδρογόνο. Το σιλάνιο μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την τοποθέτηση του υλικού με βάση το πυρίτιο, όπως το SiNx, είτε γρήγορα είτε σε σχετικά χαμηλή θερμοκρασία. Στοιχείο άζωτο N2: Αυτό το αέριο είναι αδρανές και εμποδίζει την οξείδωση. Κατασκευάζεται συνεχώς και απαιτείται για τον καθαρισμό της συσκευής στη διαδικασία συντήρησης για την απομάκρυνση του κύματος O2 και της υγρασίας. Ένα τέτοιο αέριο θα χρησιμοποιηθεί για να διευκολύνει και να μεταφέρει τις δραστηριότητες άλλων αερίων επίσης, να λειτουργήσει ως φέρον αέριο στην εναπόθεση ατμών νικρωμένου και ενισχυμένη με πλάσμα εναπόθεση ατμών νικρώμιου.

Υδρογόνο (H2) - Το υδρογόνο χρησιμοποιείται ως αναγωγικό αέριο αφαιρώντας ακαθαρσίες από υλικά. Στην κατασκευή ημιαγωγών, πρόκειται για βήμα εισαγωγής σε διάφορες διαδικασίες όπως η ανόπτηση και ο καθαρισμός. Επιπλέον, το υδρογόνο κατασκευάζει μεταλλική πύλη που η παραγωγή προηγμένων συσκευών CMOS.

Σταθερό οξυγόνο (O2/O) - εισαγωγή φύλλων και προδιαγραφών χρόνου παράδοσης, κ.λπ. O Αέριο Ενώ το οξυγόνο χρησιμοποιείται σε πολλές διεργασίες πλάσματος όπως η χάραξη και η ταινία/στάχτη o ]]>, χρησιμεύει επίσης ως αντιδραστήριο για την οξείδωση με βάση το πυρίτιο υλικά σε SiOx ή παθητικοποίηση μεταλλικών επιφανειών μέσω οξείδωσης.

Χλώριο (Cl2): Το χλώριο είναι ένα κίτρινο ή κόκκινο ατμισμένο, μη μέταλλο με πικάντικη οσμή ως υγρό. Αυτό το αέριο, το οποίο είναι πολύ αντιδραστικό με υλικά με βάση το πυρίτιο, το διοξείδιο του πυριτίου και πολλά μέταλλα όπως το αλουμίνιο, έχει δει μια σειρά από εφαρμογές στη χάραξη δομών ημιαγωγών.

Ανακαλύπτοντας τις κορυφαίες εφαρμογές αερίων ημιαγωγών και τα οφέλη

Το γεγονός ότι τα αέρια χρησιμοποιούνται στην παραγωγή ημιαγωγών έχει οδηγήσει στη δημιουργία ηλεκτρονικών υψηλής πιστότητας, όπως παράγονται από τις αυξημένες δυνατότητες κατασκευής ημιαγωγών. Τα αέρια έχουν επίσης αρκετές σημαντικές χρήσεις και πλεονεκτήματα στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Αέρια όπως το σιλάνιο, η αμμωνία και το άζωτο χρησιμοποιούνται για την εναπόθεση οξειδίου του πυριτίου ή νιτριδίου που θα είναι οι λεπτές μεμβράνες των ημιαγωγών. Κατάθεση.

Χαλκογραφία: Χρησιμοποιείται για την επιλεκτική αφαίρεση ανεπιθύμητων υλικών ή σχεδίων από ημιαγωγούς χρησιμοποιώντας αέρια όπως χλώριο, φθόριο και οξυγόνο.

Αέρια διεργασίας: Το υδρογόνο και το άζωτο απαιτούνται για τη λειτουργία του εξοπλισμού καθαρισμού ημιαγωγών (καθαρισμός) προκειμένου να μειωθούν οι ακαθαρσίες που ενδέχεται να επηρεάσουν την απόδοση της συσκευής.

Καθαρισμός: Μία από τις κύριες χρήσεις του είναι όπου δρα ως αέριο καθαρισμού όταν συνεχίζονται οι εργασίες συντήρησης στον εξοπλισμό, αφαιρώντας το οξυγόνο και την υγρασία από το σύστημα, διατηρώντας έτσι τα υλικά στη σειρά ελεύθερα.

Γιατί να επιλέξετε αέρια AGEM που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών;

Σχετικές κατηγορίες προϊόντων

Δεν βρίσκετε αυτό που ψάχνετε;
Επικοινωνήστε με τους συμβούλους μας για περισσότερα διαθέσιμα προϊόντα.

Ζητήστε προσφορά τώρα