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ArF F2 Argon-Mischung Lasergas für Alcon Allegretto Wavelight 400Hz Excimer-Laser Gasflasche Deutschland

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ArF F2 Argon Mixture Laser Gas For Alcon Allegretto Wavelight 400Hz

Excimer-Lasergasmischungen sind eine Kombination aus Edelgasen (Argon, Krypton, Xenon oder Neon) und Halogengasen (Fluor oder Chlor). Die Gasmischung bestimmt die Wellenlänge des erzeugten DUV-Lichts. Argon+Fluor+Neon (193 nm) und Krypton+Fluor+Neon (248 nm) sind die beiden am häufigsten verwendeten Mischungen. In Bezug auf das Volumen; Neon macht etwa 96–97.5 % der Mischung aus.

Kategorie
Komponente (%)
Ausgleichsgas
He-Ne-Laser-Mischgas
2~8.3 Ne
He
CO2-Laser-Mischgas
0.4H2+ 13.5CO2+ 4.5Kr
/
0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO
0.4 H2+ 8CO2+ 8Kr+ 4CO
0.4 H2+ 6CO2+ 8Kr+ 2CO
0.4 H2+ 16CO2+ 16Kr+ 4CO
0.4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr
Kr-F2 Laser-Mischgas
5 Kr+ 10 F2
/
5 Kr+ 1~0.2 F2
Sealed-Beam-Lasergas
18.5N2+ 3Xe+ 2.5CO
/
Excimer-Laser
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 1F2
Ar
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5F2
He
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2
He
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl
A
   Excimergase für Teilmodelle
Marke
Wellenlänge
Zylinder
Valve
KOHÄRENT
193nm
20 L
DIN 8
B & L
193nm
20 L / 50 L
DIN 8/ DIN 14
ZEISS
193nm
10L/20L
DIN 8
VISX
193nm
16 L
CGA679
NIDEK
193nm
16 L
CGA679
LASERSICHT
193nm
10 L
CGA679
Alcon
193nm
16 L
CGA679
SCHWIND
193nm
20 L
DIN 8/ DIN 14
SUMMIT
193nm
16 L
CGA679

Weitere Anwendungen des ArF-Lasers umfassen die Herstellung integrierter Halbleiterschaltkreise. Es erleichtert auch die In-situ-Analyse von Mineralproben basierend auf dem Ablationsprozess.

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