Laservisionskorrektur VISX Alcon Zeiss Nidex ArF Gas Argon F2 Helium Neon Excimer-Laser-Gas
Excimer-Gase für teilweise Modelle | |||
Marke | Wellenlänge | Zylinder | Ventil |
Kohärent | 193nm | 20 L | DIN 8 |
B & L | 193nm | 20 L/50 L | DIN 8/ DIN 14 |
Zeiss | 193nm | 10L/20 L | DIN 8 |
VISX | 193nm | 16 L | CGA 679 |
NIDEK | 193nm | 16 L | CGA 679 |
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Excimer-Laser-Gasgemische sind eine Kombination aus Edelgasen (Argon, Krypton, Xenon oder Neon) und Halogenen Gasen (Fluor oder Chlor). Das Gemisch bestimmt die Wellenlänge des erzeugten DUV-Lichts. Argon+Fluor+Neon (193nm) und Krypton+Fluor+Neon (248nm) sind die zwei am häufigsten verwendeten Gemische. In Bezug auf das Volumen macht Neon etwa 96–97,5% des Gemisches aus.
Kategorie
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Komponente (%)
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Austragsgas
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He-Ne-Laser-Mischgas
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2~8.3 Ne
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He
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CO2-Laser-Mischgas
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0.4H2+ 13.5CO2+ 4.5Kr
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/
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0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO
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0.4 H2+ 8CO2+ 8Kr+ 4CO
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0.4 H2+ 6CO2+ 8Kr+ 2CO
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0.4 H2+ 16CO2+ 16Kr+ 4CO
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0.4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr
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||||
Kr-F2-Laser-Mischgas
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5 Kr+ 10 F2
|
/
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5 Kr+ 1~0,2 F2
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Versiegeltes Strahllasergas
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18,5N2+ 3Xe+ 2,5CO
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/
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||
Excimer-Laser
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25,8Ne+ 9,8Ar+ 0,004N2+ 1F2
|
AR
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25,8Ne+ 9,8Ar+ 0,004N2+ 5F2
|
He
|
|||
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2
|
He
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|||
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl
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Ein
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Excimer-Gase für teilweise Modelle
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Marke
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Wellenlänge
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Zylinder
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Ventil
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Kohärent
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193nm
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20 L
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DIN 8
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B & L
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193nm
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20 L/50 L
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DIN 8/ DIN 14
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Zeiss
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193nm
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10L/20 L
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DIN 8
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VISX
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193nm
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16 L
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CGA 679
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NIDEK
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193nm
|
16 L
|
CGA 679
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LASERSIGHT
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193nm
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10 Liter
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CGA 679
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Alcon
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193nm
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16 L
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CGA 679
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SCHWIND
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193nm
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20 L
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DIN 8/ DIN 14
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GIPFEL
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193nm
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16 L
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CGA 679
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Weitere Anwendungen des ArF-Lasers umfassen die Herstellung von Halbleiterintegrierten Schaltkreisen. Er ermöglicht auch eine vor Ort durchgeführte Analyse von Mineralproben basierend auf dem Ablationsprozess.

AGEM
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