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Siliciumtetrafluorid ist ein farbloses, korrosives, nicht brennbares, toxisches Gas. Es hat einen sehr scharfen Geruch, ähnlich wie Salzsäure, und ist tödlich, wenn es eingeatmet wird. Das chemische Verbindung hat eine Siliziumbasis mit vier Fluorarmen.
In der Natur ist SiF4 das Hauptgas in manchen vulkanischen Düften. Siliciumtetrafluorid kann auch durch Reduktion von Siliziumhalogeniden, durch Elektrolyse von geschmolzenem Quarz oder durch Erhitzen von Bariumhexafluorsilikat über 300° C hergestellt werden. Darüber hinaus ist Siliciumtetrafluorid ein Nebenprodukt der Düngermherstellung.
