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Siliziumtetrafluorid ist ein farbloses, ätzendes, nicht brennbares und giftiges Gas. Es hat einen sehr stechenden Geruch, ähnlich wie Salzsäure, und ist beim Einatmen tödlich. Die chemische Verbindung hat eine Silikonbasis mit vier Fluoridarmen.
In der Natur ist SiF4 das Hauptgas in einigen Vulkanwolken. Siliziumtetrafluorid kann auch durch Reduktion von Siliziumhalogeniden, durch Elektrolyse von Quarzglas oder durch Erhitzen von Bariumhexafluorsilikat auf über 300 °C hergestellt werden. Darüber hinaus ist Siliziumtetrafluorid ein Nebenprodukt bei der Düngemittelproduktion.
