EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NEIN
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Übersicht
- Anfrage
- Verwandte Produkte
Produktinformation:
Kohlenstofftetrafluorid ist ein kryogenes Kältemittel, das unter normalen Bedingungen relativ inert ist, ein Sauerstoffverdränger und auch in verschiedenen Wafer-Ätzprozessen verwendet wird.
CF4 ist derzeit das am häufigsten verwendete Plasmaätzgas in der Mikroelektronikindustrie. Es kann in großem Umfang beim Ätzen von Dünnschichtmaterialien wie Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Phosphosilikatglas und Wolfram sowie bei der Oberflächenreinigung von elektronischen Geräten und Solarzellen eingesetzt werden. Es wird auch häufig in der Produktion von Lasertechnologie, Gasphasenisolierung, Tieftemperaturkühlung, Leckerkennungsmitteln, der Steuerung der Fluglage von Weltraumraketen und Dekontaminationsmitteln in der Produktion gedruckter Schaltkreise eingesetzt.
Aufgrund der chemischen Stabilität von Kohlenstofftetrafluorid kann Kohlenstofftetrafluorid in der Metallschmelze und der Kunststoffindustrie eingesetzt werden
