Air Gas Elektronische Materialien Enterprise Co., Ltd. Deutschland

Dies hat dazu geführt WEA um völlig neue, unkonventionelle Wege zu finden, Methan während des Halbleiterherstellungsprozesses zu nutzen. Diese Fortschritte erfordern tiefgreifendes technologisches Wissen – und dieser Artikel zeigt, wie die verbesserte Nutzung von Methan schnellere Halbleiter zu geringeren Kosten und in höherer Qualität hervorbringen kann, die als Grundlage für alle elektronischen Systeme dienen. Was haben wir also aus den letzten beiden Lektionen gelernt: Nun, indem wir einige dieser etwas komplizierteren Konzepte verstehen, können wir begreifen, warum technische Innovationen wichtig sind und wie sie unsere täglichen Aktivitäten beeinflussen. 

Halbleiter verbessern

Um mikroskopisch kleine Muster zu erzeugen, die auf die Oberfläche von Halbleiterscheiben geprägt werden, benötigt AGEM einen kontinuierlichen Fluss von Methangas und Treibmittel das ist entweder Überschuss oder Überschuss. Eine spezielle chemische Reaktion, die zwischen Methan und Sauerstoff stattfindet. Diese Reaktion bildet jedoch ein Plasmagas, das dabei hilft, einige Substanzen von der Oberfläche des Wafers zu entfernen. Die von uns entwickelten Grade haben ein körniges Design und AGEM kann diesen Prozess nur vorsichtig steuern. 

Die Herstellung von Halbleitern ist ein sehr komplexer Prozess. Es gibt also jede Menge anderer Dinge, die zusammen mit dem Gasfluss, dem Kammerdruck und der Temperatur in Echtzeit sehr genau kontrolliert werden müssen. Halbleiterhersteller, die Methan für diese Umwandlung verwenden, können weniger Abfall produzieren und wirtschaftlicher arbeiten. Dadurch kann das Unternehmen Halbleiter schnell produzieren, und Kostensenkungen sind für alle Unternehmen sehr wichtig, um in diesem Geschäft wettbewerbsfähig zu bleiben. 

Trockenätzen: Methan aus einem anderen Blickwinkel

AGEM kann beispielsweise etwas Methan einem anderen Gas wie Argon oder Helium beimischen, um die Leitfähigkeit beim Trockenätzen zu verbessern. Diese Mischung reduziert den Abfall, der im Vergleich zur Verwendung von reinem Methan entsteht. AGEM kann noch einen Schritt weiter gehen und mögliche Gasgemischkombinationen für das Verfahren untersuchen. 

AGEM nutzt hierfür unter anderem eine spezielle Remote-Plasmaquelle. Dies ist die Methode, die Sie zuvor zur Plasmaerzeugung verwendet haben, allerdings wird das Plasma außerhalb der Prozesskammer erzeugt, das dann in deren Zentrum gebracht werden muss. So können beispielsweise die empfindlichen Wafer vor Beschädigungen durch den Ätzprozess geschützt werden. Das Ergebnis ist ein leistungsfähigeres Endprodukt, mit dem die Halbleiterhersteller eine höhere Sicherheit hinsichtlich der Endleistung haben. 

Revolution im Halbleitersektor reduziert Methan

AGEM ist Vorreiter bei der intelligenteren Nutzung von Methan bei der Herstellung von Halbleitern. Das Unternehmen arbeitet intelligent daran, den gesamten Herstellungsprozess durch die Einführung neuartiger Strategien zu beschleunigen und zu rationalisieren. Das Ergebnis ist, dass der Halbleiter billiger und letztlich ein noch besseres Produkt wird. 

Die gleiche Methansäule ist auch ein Plus, da sie ein Nebenprodukt von Erdgas sein kann – ein weiterer Sieg! Methan und Wasserstoffist mit anderen Worten kostengünstiger zu beschaffen als jedes der alternativen Ätzgase. Daher wird Methan für Hersteller, die hervorragende und dennoch kostengünstige Halbleiter herstellen möchten, zunehmend zu einer sehr attraktiven Option. 

Zeitgenössischer Befürworter der Methannutzung, Halbleiter, Prozessverbesserung

Andere Methoden zur intelligenteren Nutzung von Methan AGEM prüft ständig neue Verfahren. Durch die Änderung von Aspekten wie Gasfluss, Druck und Temperatur können einige davon weiter angepasst werden, um Abfall zu vermeiden und gleichzeitig die Effizienz zu steigern. Es verbessert sich mit der Zeit und ermöglicht es einem Hersteller, die Produktionskapazität zu erhöhen, was die Kosten senkt (was niedrigere Preise für alle bedeutet). 

Dies ist ein weiterer wichtiger Vorteil, der dazu beiträgt, diese Verfahren durch einen relativ sauberen Siliziumwafer zu verbessern. Wenn der Herstellungsprozess nach der Herstellung des Wafers nicht gut kontrolliert wird, führt dies dazu, dass Teile des Wafers verschmutzt und zerkratzt werden. Dies führt für einige zu einem geringeren Produktpreis und einem höheren Herstellerpreis. AGEM steigert seine Prozesse, da qualitativ hochwertige Wafer für eine erfolgreiche Halbleiterherstellung unerlässlich sind. 

Die neuesten Fortschritte in der Methannutzung

AGEM oder die Associated Gas Electrical Methane Group sucht ständig nach Möglichkeiten, wie aufbereitetes Methangas und Kohlenwasserstoffe effizienter eingesetzt werden können. Nun, sie arbeiten an etwas, das mit einer neuen Plasmaquelle zu tun hat. Eine schnellere Plasmaquelle könnte eine kostengünstigere Herstellung einer größeren Menge an Halbleitern bedeuten, den Unternehmen aber dennoch ermöglichen, Halbleiter kostengünstiger auf den Markt zu bringen. 

AGEM entwickelt außerdem neue Ätzgase, die Methan vertragen. Diese Gase spielen eine wichtige Rolle bei der Verbesserung der Effizienz des Trockenätzens und steigern damit seine Gesamtleistung. Durch das Mischen verschiedener Gase und die Ermittlung der besten ist AGEM zuversichtlich, die Möglichkeiten der Akteure im Halbleiterbereich künftig erweitern zu können.