Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Dies hat zu  AGEM auf völlig neue, außergewöhnliche Weisen zur Nutzung von Methan während des Halbleiterherstellungsprozesses zu iterieren. Diese Fortschritte erfordern Technologien, die tiefgreifend lesen — und dieser Artikel zeigt, wie die Verbesserung der Methanverwendung schnellere Halbleiter zu geringeren Kosten/höherer Qualität schaffen kann, die als Grundlage für alle elektronischen Systeme dienen. Was also haben wir aus den letzten beiden Lektionen gelernt? Durch das Verständnis einiger dieser etwas komplizierteren Konzepte können wir erkennen, warum technologische Innovation wichtig ist und wie sie unseren täglichen Antrieb beeinflusst.

Bessere Halbleiter herstellen

Um mikroskopisch kleine Muster anzufertigen, die auf die Oberfläche von Halbleiterschienen gedruckt werden, benötigt AGEM einen kontinuierlichen Fluss an Methangas und Reaktionspartner Das ist entweder Überschuss oder Mehrprodukt. Eine spezielle chemische Reaktion, die zwischen Methan und Sauerstoff stattfindet. Allerdings bildet diese Reaktion ein Plasmagas, das hilft, einige Stoffe auf der Oberfläche des Wafers zu entfernen. Der Grad, den wir entwickeln, hat ein granuläres Design und AGEM kann diesen Prozess nur vorsichtig steuern.

Die Herstellung von Halbleitern ist ein sehr komplexer Prozess. Es gibt also tonnenweise andere Dinge, die neben dem Gasfluss, dem Kammerdruck und der Temperatur in Echtzeit sehr eng kontrolliert werden müssen. Halbleiterhersteller, die Methan für diese Umwandlung verwenden, können weniger Abfall produzieren und wirtschaftlicher operieren. Dies ermöglicht es dem Unternehmen, Halbleiter schnell herzustellen, und Kostensenkungen sind äußerst wichtig, um im Geschäft wettbewerbsfähig zu bleiben.

Trockenetzen: Ein Methan aus einer anderen Perspektive

Zum Beispiel kann AGEM Methan in einen anderen Gas, wie Argon oder Helium, einmischen, um die Leistungsfähigkeit des Trockenätzens zu verbessern. Diese Mischung verringert die entstehenden Abfälle im Vergleich zum direkten Einsatz von Methan. AGEM kann noch einen Schritt weiter gehen und mögliche Gasgemische für den Prozess untersuchen.

Einer der Wege, wie AGEM dies erreicht, ist die Verwendung einer speziellen Fernplasmarquelle. Dies ist die Methode, die Sie früher zur Erzeugung von Plasmas verwendet haben, aber sie erzeugt Plasma außerhalb der Prozesskammer, das dann in deren Inneres gebracht werden muss. In diesem Fall können so die empfindlichen Wafer vor Schäden durch den Ätzprozess geschützt werden. Am Ende führt dies zu einer besseren Leistung des fertigen Bauteils und zu einem Produkt, bei dem Hersteller von Halbleitern größere Sicherheit hinsichtlich der Endleistung haben.

Die Halbleiterbranche revolutionieren: Methanminderung

AGEM führt den Weg bei der intelligenteren Nutzung von Methan bei der Herstellung von Halbleitern. Sie arbeiten klug, um die gesamte Fertigungsprozesse zu beschleunigen und zu vereinfachen durch die Einführung neuer Strategien. Das Ergebnis ist es, Halbleiter billiger zu machen und letztendlich ein noch besseres Produkt zu erhalten.

Die gleiche Methansäule ist auch ein Plus, da sie ein Nebenprodukt von Erdgas sein kann -- ein weiterer Triumph! Methan und  Wasserstoff , anders ausgedrückt, ist billiger zu erhalten als jedes der alternativen Etch-Gase. Deshalb beginnt Methan, wie eine sehr attraktive Option für Hersteller zu erscheinen, die exzellente, dennoch noch preiswerte Halbleiter herstellen möchten.

Die meisten zeitgenössischen Vertreter der Methanverwendung, Halbleiter, Prozessverbesserung

Andere Methoden zur intelligenteren Nutzung von Methan. AGEM prüft kontinuierlich innovative Verfahren. Durch die Änderung von Aspekten wie Gasfluss, Druck und Temperatur kann für einige von ihnen eine weitere Anpassung erreicht werden, um Verschwendung zu verhindern und die Effizienz zu erhöhen. Es verbessert sich im Laufe der Zeit und ermöglicht es einem Hersteller, die Produktionskapazität zu erhöhen, was Kosten senkt (was bedeutet, niedrigere Preise für alle).

Dies ist auch ein weiterer wesentlicher Vorteil bei der Verbesserung dieser Verfahren durch eine relativ saubere Siliziumwafer. Nach der Fertigung des Wafers wird, wenn der Fertigungsprozess nicht gut kontrolliert wird, dies zu einer Teilverschmutung und Beschädigung des Wafers führen. Dies führt zu niedrigeren Produktpreisen und höheren Herstellkosten für wenige. AGEM intensiviert ihre Prozesse, da hochwertige Wafers essentiell für einen erfolgreichen Halbleiterherstellung sind.

Die neuesten Fortschritte in der Methanverwendung

AGEM oder die Associated Gas Electrical Methane Group versucht ständig, Wege zu finden, um vorbereitetes Methan-Gas und Kohlenwasserstoffe kann effizienter eingesetzt werden. Nun arbeiten sie an etwas, das mit einer neuen Plasmaquelle zu tun hat. Eine schnellere Plasmaquelle könnte billigeren Anlagen zur Herstellung einer größeren Menge an Halbleitermaterialien ermöglichen, aber dennoch Unternehmen in der Lage sein lässt, Halbleiter günstiger auf den Markt zu bringen.

AGEM entwickelt auch neue Erosionsgase, die methantolerant sind. Diese Gase spielen eine wichtige Rolle bei der Verbesserung der Effizienz der trockenen Erosion, wodurch ihre Gesamtleistung gesteigert wird. Durch das Mischen verschiedener Gase und das Bestimmen der besten, hofft AGEM, die Fähigkeiten der Akteure zukünftig im Halbleiterbereich zu erweitern.