Gasser med høj renhed til elektronik Monofluormethan 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methylfluorid CH3F Danmark

Forespørgsel

Oversigt
Forespørgsel
Relaterede Produkter

Gasser med høj renhed til elektronik Monofluormethan 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methylfluorid CH3F

AGEM producere og sælge højrent monofluormethangas (CH3F), der skal bruges i fremstillingsprocessen af halvlederchips.

Fluormethan, også kendt som methylfluorid, Freon 41, Halocarbon-41 og HFC-41, er en ikke-toksisk, flydende gas ved standard temperatur og tryk. Det er lavet af kulstof, brint og fluor. Navnet stammer fra det faktum, at det er metan (CH4) med et fluoratom erstattet af et af brintatomerne. Det bruges i halvlederfremstillingsprocesser som en ætsningsgas i plasmaætsereaktorer.

Fluormethan, mere almindeligt kaldet methylfluorid (MeF) eller Halocarbon 41 er en ikke-toksisk flydende gas, der bruges til fremstilling af halvledere og elektroniske produkter. I nærvær af et RF-felt dissocieres det til fluorioner til selektiv ætsning af siliciumforbindelsesfilm.

Anvendelse:CH3F er en specialgas, der anvendes i fremstillingsprocessen af halvlederchips til mikrobearbejdning af nitridfilm ved ætsning. CH3F bruges hovedsageligt til fremstilling af halvlederhukommelseschips inklusive NAND-flash og DRAM, der kræver mikrobearbejdningsteknologi. Da dens ætsningsselektivitet er højere end andre gassers, er CH3F velegnet til mikrobearbejdning af flerlagsstruktur af 3D NAND-flash. Efterspørgslen efter CH3F har været stigende i disse dage på grund af opstart af mange linjer til fremstilling af 3D NAND-flash.