EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Pochopte aplikaci polovodičových prekurzorů v jednom článku
21
1
Polovodičové prekurzory jako základní surovina procesu nanášení tenkých vrstev zahrnují epitaxi, chemické nanášení z plynné fáze (Chemical Vapour Material, Deposition, označované jako CVD) a depozici atomární vrstvy (Atomic Layer Deposition, označované jako ALD) za vzniku různých procesů. tenkovrstvé materiály potřebné pro výrobu polovodičů. , používané v různých oblastech výroby polovodičů.
