EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Plyny s vysokou čistotou pro elektroniku Monofluormethan 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluoride CH3F
- Karta Přehled
- dotaz
- Související produkty
Plyny s vysokou čistotou pro elektroniku Monofluormethan 99.999 % FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluoride CH3F
AGEM vyrábí a prodává vysoce čistý plyn Monofluoromethan (CH3F) pro použití ve výrobním procesu polovodičových čipů.
fluormethan, také známý jako methylfluorid, Freon 41, Halocarbon-41 a HFC-41, je netoxický, zkapalnitelný plyn při standardní teplotě a tlaku. Skládá se z uhlíku, vodíku a fluoru. Název vychází ze skutečnosti, že se jedná o metan (CH4) s atomem fluoru nahrazeným jedním z atomů vodíku. Používá se v procesech výroby polovodičů jako leptací plyn v plazmových leptacích reaktorech.
fluormethan, běžněji nazývaný methylfluorid (MeF) nebo Halocarbon 41 je netoxický zkapalněný plyn používaný při výrobě polovodičových a elektronických produktů. V přítomnosti RF pole se disociuje na fluorové ionty pro selektivní leptání filmů ze sloučenin křemíku.
editaci videa:CH3F je speciální plyn používaný ve výrobním procesu polovodičových čipů pro mikroobrábění nitridového filmu leptáním. CH3F se používá hlavně při výrobě polovodičových paměťových čipů včetně NAND flash a DRAM, které vyžadují technologii mikroobrábění. Protože jeho selektivita leptání je vyšší než u jiných plynů, je CH3F vhodný pro mikroobrábění vícevrstvé struktury 3D NAND flash. Poptávka po CH3F se v těchto dnech zvyšuje kvůli spuštění mnoha linek na výrobu 3D NAND flash.
