EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Vysoká čistota Plyny pro elektroniku Monofluoromethan 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl fluorid CH3F
- přehled
- Dotaz
- Související produkty
Vysoká čistota Plyny pro elektroniku Monofluoromethan 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl fluorid CH3F
AGEM vytváří a prodává vysoké čistoty monofluoromethanový plyn (CH3F), který se používá v procesech výroby polovodičových čipů.
Fluoromethan, známý také jako methyl fluorid, Freon 41, Halocarbon-41 a HFC-41, je neznečišťující, kapalný plyn při běžné teplotě a tlaku. Složen je z uhlíku, vodíku a fluoru. Název pochází z toho, že je to metan (CH4), ve kterém je jednomu vodíkovému atomu substituován fluorový atom. Používá se v procesech výroby polovodičů jako etčivý plyn v plazmových reaktorech na etčení.
Fluoromethan, běžněji nazývaný methyl fluorid (MeF) nebo Halocarbon 41 je netoxický plyn, který lze skropit, používaný při výrobě polovodičů a elektronických produktů. V přítomnosti RF pole se rozpadá na fluoridové ionty pro selektivní čištění filmů z oxidu křemičitého.
Aplikace :CH3F je speciální plyn používaný při výrobě polovodičových čipů pro mikroobdělávání nitridového filmu čištěním. CH3F se používá hlavně při výrobě paměťových čipů, včetně NAND flash a DRAM, které vyžadují technologii mikroobdělávání. Díky vyššímu stupni selektivity při čištění je CH3F vhodný pro mikroobdělávání vícevrstvé struktury 3D NAND flash. Nárůst poptávky po CH3F je dnes patrný kvůli spuštění mnoha linií na výrobu 3D NAND flash.
