- Karta Přehled
- dotaz
- Související produkty
C5F8 Oktafluorcyklopenten plyn
Široce se používá v procesu leptání při výrobě polovodičových součástek, zejména pro velikost a selektivní leptání nejmenších geometrických prvků (jako je šířka propojovacích čar, kontaktů, příkopů atd.)