EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Tovární cena Elektronická třída 5N Vysoká čistota 99.999% Tetrafluormethan CF4 plyn Česká republika
- Karta Přehled
- dotaz
- Související produkty
Informace o produktu:
Fluorid uhličitý je kryogenní chladivo, které je za normálních podmínek relativně inertní, vytlačuje kyslík a používá se také v různých procesech leptání plátků.
CF4 je v současnosti nejrozšířenějším plynem pro plazmové leptání v mikroelektronickém průmyslu. Může být široce používán při leptání tenkovrstvých materiálů, jako je křemík, oxid křemičitý, nitrid křemíku, fosfosilikátové sklo a wolfram, a při povrchovém čištění elektronických zařízení a solárních článků. Je také široce používán při výrobě laserové technologie, izolace plynné fáze, nízkoteplotního chlazení, prostředků pro detekci úniků, řízení polohy vesmírných raket a dekontaminačních prostředků při výrobě tištěných obvodů.
Vzhledem k chemické stabilitě fluoridu uhličitého lze fluorid uhličitý použít v tavení kovů a plastikářském průmyslu
