- Přehled
- Dotaz
- Související produkty
Pro polovodičový proces plazmového nasycování plynu a etchantu 99,9% C318 perfluorocyclobutan chladičský plyn C4F8
V produkci polovodičových materiálů a zařízení slouží oktafluorocyclobutan jako deposiční plyn a etchant. Byl také zkoumán jako chladič v specializovaných aplikacích, jako náhrada pro ozon ničící chlorofluorkarbonské chladiče. Využívaje jeho volatility a chemickou inercnost, může být oktafluorocyclobutan nalezen v některých aerosolizovaných potravinách. Je uveden v Kodexu Alimentarius pod číslem 946 (E946 pro EU). Je zkoumán jako možná náhrada za hexafluorid síry jako dielektrický plyn.