- Karta Přehled
- dotaz
- Související produkty
Pro polovodičový proces Plazmová depozice Plyn a leptadlo 99.9 % C318 Perfluorcyklobutan Chladicí plyn C4F8
Při výrobě polovodičových materiálů a zařízení slouží oktafluorcyklobutan jako depoziční plyn a leptadlo. Byl také zkoumán jako chladivo ve specializovaných aplikacích jako náhrada za chlorfluoruhlovodíková chladiva poškozující ozonovou vrstvu. Využitím své těkavosti a chemické inertnosti lze oktafluorcyklobutan nalézt v některých aerosolových potravinách. Je uveden v Codex Alimentarius pod číslem 946 (E946 pro EU). Je zkoumán jako možná náhrada za fluorid sírový jako dielektrický plyn.