Polovodiče jsou ve všem, od vašich chytrých telefonů a osobních počítačů až po jakýkoli jiný typ elektronického zařízení. Musí být vyrobeny specifickým procesem a používat velké množství plynů. Následující text zdůrazňuje popis mnoha typů plynů, které se používají pouze v jednom průmyslovém odvětví, a toho, jak jsou tyto high-tech látky určeny k vytváření věcí, na které skutečně spoléháme. Mnoho různých druhů plynů používaných ve světě výroby polovodičů Polovodiče se formují pomocí komplexní řady procesů, jako je leptání, nanášení a čištění. Různé vlastnosti a aplikace těchto plynů se liší podle konkrétního použití nebo atmosférických podmínek, ať už jde o dodavatele průmyslových plynů, známé dodavatele speciálních polovodičových plynů nebo v laboratořích, které poskytují široké spektrum vhodné pro všechny s potřebnými kritickými charakteristikami. splnit úkol jako záměrně uspokojivý. Pro dnešek z tohoto důvodu představujeme několik předních plynů používaných pro procesy výroby materiálů. Silan SiH4: Tento plyn je bezbarvý a představuje také významný elektronický materiál na bázi křemíku. Je známo, že je velmi dynamický a rychle reaguje s kyslíkem a vodou za vzniku oxidu křemičitého SiO a plynného vodíku. Silan lze použít k umístění materiálu na bázi křemíku, jako je SiNx, buď rychle, nebo při relativně nízké teplotě. Prvek Dusík N2: Tento plyn je inertní a zabraňuje oxidaci. Vyrábí se nepřetržitě a vyžaduje se pro proplachování zařízení v procesu údržby, aby se odstranil nárůst O2 a vlhkosti. Takový plyn bude použit k usnadnění a transportu činností i jiných plynů, bude fungovat jako nosný plyn při napařování nichromu a plazmové nanášení páry nichromu.
Vodík (H2) - Vodík se používá jako redukční plyn při odstraňování nečistot z materiálů. Ve výrobě polovodičů jde o krok importu do několika procesů, jako je žíhání a čištění. Kromě toho vodík vyrábí kovová vrata, která vyrábí pokročilé CMOS zařízení.
Stabilní kyslík (O2/O) – zadejte dodací lhůty plechů a specifikací atd. O Plyn Zatímco kyslík se používá v mnoha plazmových procesech, jako je leptání a stripování/popel o ]]>, slouží také jako reaktant pro oxidaci na bázi křemíku materiálů na SiOx nebo pasivace kovových povrchů oxidací.
Chlór (Cl2): Chlor je žlutý nebo červený dýmavý, nekovový štiplavý zápach jako kapalina. Tento plyn, který je velmi reaktivní s materiály na bázi křemíku, oxidem křemičitým a mnoha kovy, jako je hliník, viděl řadu aplikací v leptání polovodičových struktur.
Skutečnost, že se při výrobě polovodičů používají plyny, vedla k vytvoření vysoce věrné elektroniky, jak je produkována zvýšenými možnostmi výroby polovodičů. Plyny mají také několik významných použití a výhod v polovodičovém průmyslu.
Plyny jako silan, čpavek a dusík se používají k ukládání oxidu nebo nitridu křemíku, což budou tenké vrstvy polovodičů. Depozice.
Leptání: Používá se k selektivnímu odstraňování nežádoucích materiálů nebo vzorů z polovodičů pomocí plynů, jako je chlór, fluor a kyslík.
Procesní plyny: Pro provoz zařízení pro čištění polovodičů (čištění) je zapotřebí vodík a dusík, aby se snížily nečistoty, které mohou ovlivnit výkon zařízení.
Proplachování: Jedním z jeho hlavních použití je tam, kde působí jako proplachovací plyn, když probíhají údržbové práce na zařízení, odstraňuje kyslík a vlhkost ze systému, čímž udržuje materiály v lince bez obsahu.
V důsledku toho pátrání po stále sofistikovanějších materiálech a procesech nemá s postupem polovodičového průmyslu konce. Vylepšené plyny jsou nezbytné pro nadcházející pokrok v oblasti polovodičů. Zde je jen několik z těchto high-tech plynů ve výrobě polovodičů:
Fluorované uhlovodíky: Důvodem, proč jsou fluorované plyny dobré pro výrobu nejmodernějších návrhů obvodů, je to, že reagují agresivně a selektivně jak na leptání (odstranění kusů), tak na usazování (přidání součástí).
CO2 – Inertní plyn používaný pro aplikace, jako je naprašování, CVD a čištění.
I když by to mělo být vnímáno jako krok kupředu ve výrobě polovodičů, a to čistě jen díky novým dodávacím systémům, které jsou dnes možné. Výrobci neustále hledají způsoby, jak zlepšit efektivitu, snížit množství odpadu a zvýšit bezpečnost. Některé z nejnovějších pokročilých plynů a systémů dodávání chemikálií, které jsou nyní k dispozici, jsou uvedeny níže.
Systém dodávky plynu (pro plyny, které přesně regulují malá množství plynných / kapalných chemikálií potřebných v polovodičích)
Zdroj: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems ozoonová plazma a peroxid vodíku pro nejúčinnější metody čištění nečistot z polovodičového materiálu.
Polovodičové plyny mohou řídit poptávku po účinnější elektronice, ale také představují nebezpečné ekologické hrozby. Mimo jiné v polovodičovém průmyslu existují některé programy na snížení odpadu a recyklaci plynu. To se neliší od toho, jak se výrobci snaží uklidnit obavy o životní prostředí spojené s polovodičovými plyny;
První a nejpřímější je Snížení odpadu -> Výrobci se vždy snaží snížit množství odpadu produkovaného při výrobě polovodičů. Věci jako snížení množství používaných chemikálií a plynů, recyklace tam, kde je to možné, nebo vytvoření systémů s uzavřenou smyčkou.
Recyklace Recyklace plynů a chemikálií bude další klíčovou metodou, která pomáhá snižovat dopady na životní prostředí. Produkci odpadu mohou výrobci velmi snadno minimalizovat, když umožňují regeneraci, čištění a recyklaci plynů nebo chemikálií používaných při výrobě.
Shrnutí: Plyny jsou nezbytné pro výrobu některé z nejkvalitnější elektroniky. Výrobci jsou odhodláni zlepšovat jak pokročilé plyny, tak řešení dodávek, která upřednostňují optimální procesy, snížení odpadu a bezpečnost komunity. Sektor polovodičů se bude rovněž plahočit po cestě spotřeby plynu – a celková ekologická stopa těchto plynů spustila v posledních letech mnoho kampaní zaměřených na udržitelnost.
AGEM si uvědomuje, že každý zákazník požaduje v oblasti speciálních plynů něco jiného, jako je kalibrační plyn. Poskytujeme řešení na míru, abychom vyhověli specifickým potřebám našich klientů. Pokud požadujete konkrétní množství čistoty, velikost válce nebo možnosti balení, AGEM s vámi může spolupracovat na přizpůsobení svých produktů přesně podle vašich požadavků. Tento stupeň přizpůsobení zajistí, že získáte nejlepší kalibrační plynovou láhev pro vaše aplikace, což zlepší celkovou účinnost a výkon. Sortiment společnosti AGEM není omezen na kalibrační plyny. Katalog AGEM obsahuje uhlovodíkové plyny, halokarbony, chemické plyny a vzácné plyny. Můžete si být jisti, že AGEM bude mít specifický druh plynu, který požadujete.
Velkým problémem jsou úniky plynů používaných při výrobě polovodičů. Testujeme těsnost nejméně pětkrát, abychom zajistili kvalitu. Naše společnost nabízí kompletní výrobní a testovací linku a aplikaci přísné kontroly kvality a dokonalý systém poprodejních služeb, abychom zajistili, že zákazníci obdrží produkty nejvyšší kvality a celou škálu služeb. Naše odhodlání poskytovat vynikající zákaznický servis a vysokou kvalitu je něco, na co jsme hrdí. Náš kvalifikovaný tým je vždy po ruce, aby vám pomohl a zajistil, že dostanete ty nejlepší služby k vaší maximální spokojenosti. Naše služba 24x7 je to, co nás odlišuje. Jsme tu pro vás po celý den, po celou dobu.
AGEM nabízí širokou škálu kryogenních lahví pro chlazení superchlazených kapalin a plynů, jako je kapalný kyslík a argon. Mohou také obsahovat oxid uhličitý, dusík a dusík. K zajištění maximálního výkonu používáme dovážené ventily a nástroje. Využijte zařízení na úsporu plynu a upřednostněte použití přetlakového plynu v prostoru plynné fáze. Dvojité bezpečnostní ventily poskytují solidní jistotu pro bezpečný provoz. Nabízíme širokou škálu kryogenních lahví, které mohou pojmout kapaliny, které jsou superchlazené a používané v každodenním životě. Plný objem: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500L/1000L Pracovní tlak: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Teplota konstrukce vnitřní nádrže: +196 Teplota konstrukce nádoby: 20oC+50oCIizolace: vakuum s vícevrstvým obalemUložené médium: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM působí na Tchaj-wanu již více než 25 let. Máme rozsáhlé zkušenosti v oblasti výzkumu a vývoje v této oblasti a můžeme nabídnout jedinečné odborné znalosti v oblasti speciálních, objemových a kalibračních plynů v 6 různých regionech. Tchaj-wan – město Kaohsiung (ústředí, centrum výzkumu a vývoje) Indie – Bombaj, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, DillíČína - WuhanStřední východ - Dubaj (SAE) & Království Saúdské ArábieSpojené království - Námi nabízená řešení CambridgeSolutions pro plyn zahrnují technické poradenství. Montáž a uvedení do provozu. Ukázkové testování. Balení a doprava. Kreslení Design. Výrobní.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIÁLY (AGEM) je závod na výrobu a výzkum a vývoj plynu umístěný na Tchaj-wanu, který má jedinečné odborné znalosti v oblasti speciálních, elektronických, objemových a kalibračních plynů po celém světě v 6 různých regionech.
Pokoj 2 a 3, 10. patro, jednotka 1, fáze I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, Čína
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Zásady Ochrany Soukromí
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ