EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Высокачыстыя газы Дла электронікі Манофлуораметан 99.999% FC41 UN 2454 Галакарбон 41 Мetyl Флyорид CH3F
- Агляд
- Запыт
- ПАРУЖНЫЯ ПРЫЗНАЦКІ
Высокачыстыя газы Дла электронікі Манофлуораметан 99.999% FC41 UN 2454 Галакарбон 41 Мetyl Флyорид CH3F
AGEM вырашваюць і продаюць газ манофлуорамэтан вышэйшай чыстоты (CH3F), які выкарыстоўваецца ў процесе вытвору палупроваднікаў.
Флуорамэтан, таксама вядомы як метыл флуорыд, Фрэён 41, Галакарбон-41 і HFC-41 — гэта няядкавы газ, які можа пераходзіць у стацу ў звычайнай температуры і ціскі. У склад заходзяць углерод, водарод і флуор. Назва пачынаецца ад таго, што гэта метан (CH4) з заменай атому флуоры на адзін з атомаў водарода. Выкарыстоўваецца ў процесах вытвору палупроводнікаў як этыруючы газ у плазменых этыруючых рэактарах.
Флуорамэтан, значна часта называецца метылфлорад (MeF) ці Halocarbon 41 — гэта няядarnaе газа, якое можна пераводзіць у растапленую фарму, і выкарыстоўваецца пры вырабе палупроваднікаў і электронных вытвор. У наявліччы RF-поля яно адсачаецца ў флорадныя іёны для выбранага атравення пленак сіліцыевых злучэнняў.
Зastosаванне :CH3F гэта спецыяльны газ, які выкарыстоўваецца ў працэсе выработкі чырвонкі палупроваднікаў для мікрамашынавання тавародобранай пленкі шляхам атравення. CH3F галоўным чынам выкарыстоўваецца пры выробе чырвонкі памятнікаў палупроводнікаў, уключна NAND flash і DRAM, якія патрабуюць мікрамашынаванай тэхналогіі. Удзельна да высокасягнутай атравальнай выбараснасці, большай, чым у іншых газоў, CH3F дапамагае мікрамашынаванню багатаслоёвай структуры 3D NAND flash. Папулярнасць CH3F паўплевае сённяшнім часам завдзягода запуску многіх ліній для выработкі 3D NAND flash.
