EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- агляд
- Запыт
- Спадарожныя тавары
Газы высокай чыст
AGEM вырабляць і прадаваць газ монафторметан высокай чысціні (CH3F), які будзе выкарыстоўвацца ў працэсе вытворчасці паўправадніковых чыпаў.
фторметан, таксама вядомы як фтарыд метыла, фрэон 41, галокарбон-41 і HFC-41, з'яўляецца нетоксичным, звадкаваным газам пры стандартнай тэмпературы і ціску. Ён складаецца з вугляроду, вадароду і фтору. Назва паходзіць ад таго факту, што гэта метан (CH4) з атамам фтору замест аднаго з атамаў вадароду. Ён выкарыстоўваецца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў у якасці газу для тручэння ў рэактарах плазменнага тручэння.
фторметан, больш часта званы фтарыд метыла (MeF) або Halocarbon 41 - гэта нетоксичный звадкаваны газ, які выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправадніковых і электронных вырабаў. У прысутнасці радыёчастотнага поля ён распадаецца на іёны фтору для селектыўнага тручэння крэмніевых плёнак.
дадатак:CH3F гэта спецыяльны газ, які выкарыстоўваецца ў працэсе вытворчасці паўправадніковых чыпаў для мікраапрацоўкі нітрыднай плёнкі шляхам тручэння. CH3F у асноўным выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправадніковых мікрасхем памяці, уключаючы флэш-памяць NAND і DRAM, для якіх патрабуецца тэхналогія мікраапрацоўкі. Паколькі яго селектыўнасць тручэння вышэй, чым у іншых газаў, CH3F падыходзіць для мікраапрацоўкі шматслаёвай структуры флэш-памяці 3D NAND. Попыт на CH3F расце ў гэтыя дні з-за запуску многіх ліній для вытворчасці 3D NAND флэш.
