Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

У гэтай казцы, навукоўцы знайшлі спецыяльны газ, які добра ўжываецца для этыравання. Газ называецца газ c3f8 : "C-three-F-eight. Яно фактычна грае вельмі важную ролю для правільнага працавання працэсу этыравання. Гэты артыкул абмяркоўвае выкарыстанне C3F8 ў газавых сумесах для этыравання, а таксама яго перавагі.

Што такое этыраванне?

Этчынг: Працэс аддалення хіміяй ўжоў дужа сапраўды паходзіць да абшырнага апісання этчынгу. Існуюць розныя прычыны для гэтага. Дзеля ілюстрацыі, мы можам захочаць стварыць цікавыя дэзайні/размеры на паверхні ці выкарыстоўваць яе для этчынгу, каб выцакаць штосьці бруднае. Калі вы хочаце добра этчынгаваць штосьці, звычайна выкарыстоўваецца сумесцінга газоў, бо яна аддаляе матэрыял з паверхні шырэй, чым іншыя.

Сумесцінга газоў часта ўключае розныя газы, у тым ліку кисень, азат і флуор. Усе гэтыя газы дапамагаюць разбіць матэрыял, які мы жадаем аддаліць. У гэтых сумесцінгах газоў даданне C3F8 можа далей паспяхова ўдосконаляць процес этчынгу [5]. Гэты незвычайны газ гульнёў важную ролю ў спашэнні і карыстаць процесам этчынгу, што дазваляе многім промысловым відам.

Як C3F8 Дапамагае Этчынгу?

Перфлароптан (C3F8) — гэта дужа рэакцыйны газ, які разкладае паверхневыя хімічныя ўладкі. Даданне C3F8 да рэакцыйнай газавай сумесцы робіць выкарыстанне матэрыяла многа эфектывней. C3F8 таксама паспяхова ўзмацняе працэс етчыння, збяльшыўшы выбарачасць.

Выбарачасць — гэта складанае слово для таго, каб магчы забрать адну роду ўладкі, залишаючы іншую. Гэты высокі рэвень выбарачасці неабходны, напрыклад, каб етчыць металічную паверхню, але захаваць шар фотапрацягваля на верху. Выбарачасць важная падчас етчыння, бо мы не хочам забрать іншыя неабходныя шары, і C3F8 збяльшыць гэту выбарачасць.

Дзе выкарыстоўваецца C3F8?

У багата розных месцах, дзе етчынне мае вялікае значэнне, выкарыстоўваюць газ c3f8 C3F8 мае многа зastosаванняў у вырабе трывiал'на малых электронных прылад, МікраЭлектраМэханічных Сістэм (MEMS) і салёных панэляў, якія таксама вядомыя як фотавольтаічная сістэма. Выжарванне — гэта важны процэс у вытворчасці продуктаў ў гэтых сектарах, і вы зможаце выкарыстоўваць C3F8, каб значна паднісці якасць выжарвання.

Наконец, вы можаце зменшыць ўплыв шкоды нашай паверхні, над якой працуем, а таксама атрымаць дадатковую дапамогу ад C3F8. Гэта яшчэ больш важна для застосаванняў, якія агульна лічацца выпадкамі, дзе тая паверхня, якая дотыкаецца, можа быць непрыемнай да фізічнага кантаку. C3F8 дазваляе выжараным паверхням, над якімі мы працуем, застацца чыстымі.

Чаму C3F8 важна для выжаральніка?

C3F8 магчыма яўляецца адной з найважнейшых чыннікаў, якія вызначаюць агульную якасць этчынга. Таму C3F8 забяспечвае, што пазбілкам на вылічэнне селектывнасці і меншай шкоды для паўдзення падчас этчынга, працэс стаёў барыста дакладным і паўтаральным. Гэта дазваляе нам вырабляць больш вытвораў (у масіў, Больш Добрае Вытвор) і таксама калічества вытвораў лепшай якасці ў завершаных вытворах.

Як працуе C3F8 у этчынгу?

Перш за ўжываннем яго поваджэння ў рэакцыйнай газавай сумеснасці для этчынга, базавае разумеенне карыстасьці C3F8 неабходна. C3F8 — гэта газ, які можа лёгка хімічна распадацца на паўдзенні. Яно таксама стварае захопны фільм, які вы можаце выкарыстоўваць, каб захаваць паўдзенне перад тым, як яно ашкодзіць, пакуль мы з нім працюем.

Ужыванне C3F8 ў рэакцыйных газавых сумеснасцях для этчынга не трывіяльнае і патрабуе значнай увагі да деталей. Але з правільнымі знаннімі і аб'ясненнем ужывання C3F8, гэта можа быць эфектывным рашэннем для павелічэння выядуківасці і дакладнасці працэсаў этчынга.

Як наследак, c4f8 газ а C3F8 можа маціть экстремальна важную функцыю ў спрыяжанні гладкім і эфектыўным процесам етчынга. Як етчынгавы газ, C3F8 дапамагае ў розных арэалах шляхам збільшэння выбару, зменшэння шкоды для паверхняў і падвышэння загалоўнай эфектыўнасці і дакладнасці етчынга. AGEM — спецыяліст у галіне чыстых і високачыстых сумеснасцей газаў, уключаючы реакцыйныя сумеснасці газаў для етчынга. Кліента могу спалучыцца на ведаўчыя знанні і спецыялізацыю AGEM для вырабу адлемных, непарыўных вытвораў найвышэйшага якасці.