Паўправаднікі ёсць ва ўсім, ад вашых смартфонаў і персанальных камп'ютараў да любога іншага тыпу электронных гаджэтаў. Яны павінны быць зроблены з дапамогай пэўнага працэсу і выкарыстоўваць мноства газаў. Далей асвятляецца справаздача аб шматлікіх тыпах газаў, якія выкарыстоўваюцца толькі ў адной прамысловасці, і пра тое, як гэтыя высокатэхналагічныя рэчывы прызначаны для стварэння рэчаў, на якія мы насамрэч разлічваем. Мноства розных тыпаў газу, якія выкарыстоўваюцца ў свеце вытворчасці паўправаднікоў Паўправаднікі атрымліваюцца з выкарыстаннем складанай серыі працэсаў, такіх як тручэнне, нанясенне і ачыстка. Розныя ўласцівасці і прымяненне гэтых газаў вар'іруюцца ў залежнасці ад канкрэтнага выкарыстання або атмасферных умоў, незалежна ад таго, ці знаходзяцца яны ў прамысловых пастаўшчыкоў газу, у вядомых пастаўшчыкоў спецыяльных паўправадніковых газаў або ў лабараторыі, забяспечваючы шырокі спектр, прыдатны для ўсіх з неабходнымі крытычнымі характарыстыкамі. выканаць заданне як наўмыснае здавальняючае. На сёння з гэтай нагоды мы прадстаўляем некалькі вядучых газаў для працэсаў вырабу матэрыялаў. Сілан SiH4: гэты газ бескаляровы і таксама прадстаўлены як важны электронны матэрыял на аснове крэмнія. Вядома, што ён вельмі дынамічны і хутка ўступае ў рэакцыю з кіслародам і вадой, ствараючы аксід крэмнію SiO і газападобны вадарод. Сілан можна выкарыстоўваць для размяшчэння матэрыялу на аснове крэмнія, напрыклад SiNx, альбо хутка, альбо пры адносна нізкай тэмпературы. Элемент азоту N2: гэты газ інэртны і прадухіляе акісленне. Ён пастаянна вырабляецца і неабходны для ачысткі прылады ў працэсе тэхнічнага абслугоўвання для выдалення ўсплёску O2 і вільгаці. Такі газ будзе выкарыстоўвацца для палягчэння і транспарціроўкі дзейнасці іншых газаў, а таксама для працы ў якасці газу-носьбіта пры асаджэнні ніхрома з пароў і плазменна ўзмоцненага асаджэння пароў ніхрому.
Вадарод (H2) - вадарод выкарыстоўваецца ў якасці аднаўляючага газу шляхам выдалення прымешак з матэрыялаў. У вытворчасці паўправаднікоў гэта імпартны крок да некалькіх працэсаў, такіх як адпал і ачыстка. Акрамя таго, вадарод стварае металічныя засаўкі, якія вырабляюць перадавыя прылады CMOS.
Стабільны кісларод (O2/O) - увядзіце час выканання лістоў і спецыфікацый і г.д. O Gas У той час як кісларод выкарыстоўваецца ў многіх плазменных працэсах, такіх як тручэнне і стрып/попел o ]]>, ён таксама служыць у якасці рэактанта для акіслення на аснове крэмнію матэрыялаў да SiOx або пасівацыі металічных паверхняў шляхам акіслення.
Хлор (Cl2): хлор - гэта жоўты або чырвоны дымлівы неметал з рэзкім пахам у выглядзе вадкасці. Гэты газ, які ўступае ў рэакцыю з матэрыяламі на аснове крэмнію, дыяксідам крэмнія і многімі металамі, такімі як алюміній, знайшоў шэраг прымянення для тручэння паўправадніковых структур.
Той факт, што газы выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, прывёў да стварэння высокадакладнай электронікі, якая вырабляецца за кошт пашырэння магчымасцей вытворчасці паўправаднікоў. Газы таксама маюць некалькі значных ужыванняў і пераваг у паўправадніковай прамысловасці.
Такія газы, як сілан, аміяк і азот, выкарыстоўваюцца для асаджэння аксіду або нітрыду крэмнію, які будзе ўтвараць тонкія плёнкі паўправаднікоў. Адклад.
Пратручванне: яно выкарыстоўваецца для выбарачнага выдалення непажаданых матэрыялаў або малюнкаў з паўправаднікоў з дапамогай такіх газаў, як хлор, фтор і кісларод.
Тэхналагічныя газы: вадарод і азот неабходныя для працы абсталявання для ачысткі паўправаднікоў (ачысткі), каб паменшыць колькасць прымешак, якія могуць паўплываць на прадукцыйнасць прылады.
Ачыстка: адно з асноўных прымянення - гэта тое, што ён дзейнічае як ачышчальны газ, калі на абсталяванні працягваюцца работы па тэхнічным абслугоўванні, гэта выдаляе кісларод і вільгаць з сістэмы, такім чынам захоўваючы матэрыялы ў чарзе.
Як следства, пошукі ўсё больш дасканалых матэрыялаў і працэсаў не бачаць канца па меры развіцця паўправадніковай прамысловасці. Палепшаныя газы важныя для будучых дасягненняў паўправаднікоў. Вось толькі некаторыя з гэтых высокатэхналагічных газаў у вытворчасці паўправаднікоў:
Фторвугляроды: прычына таго, што фтарыраваныя газы добрыя для вырабу сучасных схем, заключаецца ў тым, што яны агрэсіўна і выбарачна рэагуюць як на траўленне (выдаленне частак), так і на адклад (даданне частак).
CO2 - інэртны газ, які выкарыстоўваецца для распылення, CVD і ачысткі.
Хоць гэта варта разглядаць як крок наперад у вытворчасці паўправаднікоў, дзякуючы толькі новым сістэмам дастаўкі, магчымым сёння. Вытворцы заўсёды шукаюць спосабы павысіць эфектыўнасць, паменшыць адходы і павысіць бяспеку. Некаторыя з найноўшых удасканаленых газаў і сістэм дастаўкі хімікатаў, даступных цяпер, пералічаны крыху ніжэй.
Сістэма падачы газу (для газаў, якія дакладна кантралююць невялікую колькасць газу/вадкіх хімічных рэчываў, неабходных у паўправадніках)
Крыніца: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems азанавая плазма і перакіс вадароду для найбольш эфектыўных метадаў ачысткі паўправадніковых матэрыялаў ад забруджванняў.
Паўправадніковыя газы могуць стымуляваць попыт на больш эфектыўную электроніку, але таксама ствараюць небяспечную пагрозу для навакольнага асяроддзя. У паўправадніковай прамысловасці існуюць некаторыя праграмы па скарачэнні адходаў і перапрацоўцы газу. Гэта не адрозніваецца ад таго, як вытворцы працуюць, каб супакоіць экалагічныя праблемы, звязаныя з паўправадніковымі газамі;
Першае і самае непасрэднае - гэта скарачэнне адходаў -> вытворцы заўсёды імкнуцца да зніжэння колькасці адходаў, якія ўтвараюцца падчас вытворчасці паўправаднікоў. Такія рэчы, як памяншэнне колькасці хімічных рэчываў і газаў, якія выкарыстоўваюцца, перапрацоўка, дзе гэта магчыма, або стварэнне замкнёных сістэм.
Паўторны цыкл «Перапрацоўка газаў і хімічных рэчываў стане яшчэ адным важным метадам, які дапамагае знізіць уздзеянне на навакольнае асяроддзе. Утварэнне адходаў можа быць вельмі лёгка мінімізавана вытворцамі, якія дазваляюць аднаўленне, ачыстку і перапрацоўку газаў або хімічных рэчываў, якія выкарыстоўваюцца падчас вытворчасці.
Рэзюмэ: газы неабходныя для вытворчасці адной з найлепшай электронікі. Вытворцы імкнуцца ўдасканальваць як перадавыя газы, так і рашэнні па дастаўцы, якія спрыяюць аптымальным працэсам, скарачэнню адходаў і бяспецы грамадства. Паўправадніковы сектар таксама будзе рухацца па шляху спажывання газу, і агульны след гэтых газаў на навакольнае асяроддзе ў апошнія гады распачаў шмат кампаній па ўстойлівасці.
AGEM разумее, што кожнаму кліенту патрэбныя розныя рэчы ў галіне спецыяльных газаў, такіх як газ для каліброўкі. Мы прапануем індывідуальныя рашэнні для задавальнення канкрэтных патрэб нашых кліентаў. Калі вам патрабуецца пэўная колькасць чысціні, памер цыліндру або варыянты ўпакоўкі, AGEM можа працаваць з вамі, каб адаптаваць сваю прадукцыю ў адпаведнасці з вашымі дакладнымі патрабаваннямі. Такая ступень наладжвання гарантуе, што вы атрымаеце найлепшы калібравальны газавы балон для вашых прымянення, што павысіць агульную эфектыўнасць і прадукцыйнасць. Асартымент прадукцыі AGEM не абмяжоўваецца калібравальнымі газамі. Каталог AGEM змяшчае вуглевадародныя газы, галогенуглероды, хімічныя газы і рэдкія газы. Вы можаце быць упэўнены, што ў AGEM будзе той газ, які вам патрэбны.
Уцечкі газаў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, з'яўляюцца сур'ёзнай праблемай. Мы правяраем герметычнасць не менш за пяць разоў, каб гарантаваць якасць. Наша кампанія прапануе поўную лінію вытворчасці і выпрабаванняў, а таксама прымяненне строгага кантролю якасці і дасканалай сістэмы пасляпродажнага абслугоўвання, каб гарантаваць, што кліенты атрымліваюць прадукцыю вышэйшай якасці і поўны спектр паслуг. Мы ганарымся тым, чым мы ганарымся сваёй прыхільнасцю да забеспячэння выдатнага абслугоўвання кліентаў і высокай якасці. Наша кваліфікаваная каманда заўсёды гатовая дапамагчы вам і гарантаваць, што вы атрымаеце лепшае абслугоўванне, каб вы былі задаволены. Наш кругласутачны сэрвіс - гэта тое, што вылучае нас. Мы тут для вас увесь дзень, увесь час.
AGEM прапануе шырокі асартымент крыягенных цыліндраў для астуджэння звышахаладжальных вадкасцей і газаў, такіх як вадкі кісларод і аргон. Яны таксама могуць утрымліваць вуглякіслы газ, азот і азот. Мы выкарыстоўваем імпартныя клапаны і інструменты для забеспячэння максімальнай прадукцыйнасці. Выкарыстоўвайце прыстасаванні для эканоміі газу і аддавайце перавагу выкарыстанню газу з павышаным ціскам у газавай прасторы. Двайныя ахоўныя клапаны забяспечваюць цвёрдую гарантыю бяспечнай працы. Мы прапануем шырокі спектр крыягенных цыліндраў, якія могуць змясціць вадкасці, якія звышахалоджваюцца і выкарыстоўваюцца ў паўсядзённым жыцці. Поўны аб'ём: 80 л/100 л/175 л/195 л/210 л/232 л/410 л/ 500L/1000L Працоўны ціск: 1.37 МПа/2.3 МПа/2.88 МПа/3.45 МПа Разліковая тэмпература ўнутранага бака: +196Расчетная тэмпература корпуса бака: 20oC+50oCІзаляцыя: Вакуум з шматслаёвай абгорткайЗахоўваецца асяроддзе: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM працуе на Тайвані больш за 25 гадоў. Мы маем шырокі вопыт даследаванняў і распрацовак у гэтай галіне і можам прапанаваць унікальны вопыт у галіне спецыяльных, масавых і калібравальных газаў у 6 розных рэгіёнах. Тайвань - горад Гаосюн (штаб-кватэра, цэнтр даследаванняў і распрацовак), Індыя - Мумбаі, Вададара, Каімбатур, Пуна, Бенгалуру, Дэлі, Кітай - Ухань, Блізкі Усход - Дубай (ААЭ) і Саудаўскае Каралеўства ArabiaUnited Kingdom - CambridgeSolutions для газу, якія мы прапануем, уключаюць тэхнічныя кансультацыі. Зборка і ўвод у эксплуатацыю. Тэставанне ўзораў. Упакоўка і дастаўка. Дызайн малюнкаў. Вытворчасць.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) - гэта завод па вытворчасці газу і навукова-даследчых работ на Тайвані, які мае неперасягнены вопыт у галіне спецыяльных, электронных, масавых і калібравальных газаў па ўсім свеце ў 6 розных рэгіёнах.
Пакой 2 і 3, 10-ы паверх, Блок 1, Фаза I, Міжнародная плошча Хуажун, Чжуйшань, Ухань, Хубэй, Кітай
Аўтарскае права © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Палітыка прыватнасьці
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ