EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
لا
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
غازات عالية النقاء للإلكترونيات أحادي فلورو الميثان 99.999٪ FC41 UN 2454 هالوكربون 41 فلوريد الميثيل CH3F
- نظرة عامة
- استفسر
- المنتجات ذات الصلة
غازات عالية النقاء للإلكترونيات أحادي فلورو الميثان 99.999٪ FC41 UN 2454 هالوكربون 41 فلوريد الميثيل CH3F
WEA إنتاج وبيع غاز أحادي فلورو الميثان عالي النقاء (CH3F) لاستخدامه في عملية تصنيع رقائق أشباه الموصلات.
فلوروميثان, يُعرف أيضًا باسم فلوريد الميثيل، والفريون 41، والهالوكربون-41، والهيدروفلوروكربون-41، وهو غاز غير سام وقابل للتسييل عند درجة الحرارة والضغط القياسيين. وهي مصنوعة من الكربون والهيدروجين والفلور. ويعود الاسم إلى أنه عبارة عن ميثان (CH4) مع ذرة فلور تحل محل إحدى ذرات الهيدروجين. يتم استخدامه في عمليات تصنيع أشباه الموصلات كغاز الحفر في مفاعلات حفر البلازما.
فلوروميثان, يُطلق عليه أكثر شيوعًا فلوريد الميثيل (MeF) أو الهالوكربون 41، وهو غاز مسال غير سام يستخدم في تصنيع أشباه الموصلات والمنتجات الإلكترونية. وفي وجود مجال RF، فإنه ينفصل إلى أيونات الفلور من أجل النقش الانتقائي لأفلام مركب السيليكون.
التطبيق:3 فرنكًا سويسريًا هو غاز متخصص يستخدم في عملية تصنيع رقائق أشباه الموصلات للتصنيع الدقيق لفيلم النيتريد عن طريق النقش. يُستخدم CH3F بشكل أساسي في تصنيع رقائق ذاكرة أشباه الموصلات بما في ذلك NAND flash وDRAM التي تتطلب تقنية التصنيع الدقيق. نظرًا لأن انتقائية النقش أعلى من الغازات الأخرى، فإن CH3F مناسب للتصنيع الدقيق للهيكل متعدد الطبقات لفلاش NAND ثلاثي الأبعاد. يتزايد الطلب على CH3F هذه الأيام بسبب بدء تشغيل العديد من الخطوط لتصنيع فلاش NAND ثلاثي الأبعاد.
