EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
غازات عالية النقاء للاستخدام الإلكتروني مونوفلوروميثان 99.999% FC41 UN 2454 هالوكاربون 41 ميثيل فلوريد CH3F
- ملخص
- استفسار
- المنتجات ذات الصلة
غازات عالية النقاء للاستخدام الإلكتروني مونوفلوروميثان 99.999% FC41 UN 2454 هالوكاربون 41 ميثيل فلوريد CH3F
AGEM إنتاج وبيع غاز المونوفلوروميثان ذي النقاء العالي (CH3F) ليُستخدم في عملية تصنيع شرائح السيليكون.
فلوروميثان، يُعرف أيضًا بميثيل الفلوريد، فريون 41، هالوكاربون-41 و HFC-41، هو غاز غير سام يمكن تحويله إلى سائل عند درجة الحرارة والضغط القياسيين. يتكون من الكربون، الهيدروجين، والفلور. ينبع اسمه من حقيقة كونه ميثان (CH4) مع استبدال ذرة فلور بدلاً من إحدى ذرات الهيدروجين. يستخدم في عمليات تصنيع الدوائر المتكاملة كغاز تآكل في مفاعلات التآكل البلازمي.
فلوروميثان، يُعرف بشكل أكثر شيوعًا باسم فلوريد الميثيل (MeF) أو هالوكاربون 41، وهو غاز قابل للتحوير إلى سائل وغير سام، يستخدم في تصنيع المنتجات شبه الموصلة والإلكترونية. في وجود حقل راديوي (RF)، يتفكك إلى أيونات الفلور لإجراء عملية نحت انتقائية للأفلام المركبة من السيليكون.
تطبيق :CH3F هو غاز متخصص يستخدم في عملية تصنيع رقائق الشبكة شبه الموصلة لنحت فيلم النترید بالميكروماتينغ. CH3F يستخدم بشكل أساسي في إنتاج رقائق ذاكرة الشبكة شبه الموصلة بما في ذلك ذاكرتي NAND فلاش و DRAM التي تتطلب تقنية الميكروماتينغ. نظرًا لأن اختياريته في النحت أعلى من تلك الخاصة بالغازات الأخرى، فإن CH3F مناسب لنحت الهياكل متعددة الطبقات لرقائق 3D NAND فلاش. لقد زاد الطلب على CH3F هذه الأيام بسبب بدء تشغيل العديد من الخطوط لإنتاج رقائق 3D NAND فلاش.
