EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- ملخص
- استفسار
- المنتجات ذات الصلة
مواد أكسيدية قابلة للنحت الجاف، غازات مضغوطة مُسَيَّلة بالكامل بيروفلورو 2 بيوتين H 2316 بيروفلورو 2 بيوتين C4F6
الهيكسافلوروبوتادين-1،3 هو غاز مضغوط مُسَيَّل سام، لونه أبيض، لا رائحة له، وقابل للاشتعال
أظهرت سنوات من البحث أن C4F6 (H-2316) يقدم عدة مزايا لنحت الأكسيدات بالطريقة الجافة:
لديه معدل حفر أعلى واختيارية مقارنة بـ octafluorocyclobutane (c-C4F8 - H318)، وهو عامل حفر آخر يستخدم بشكل واسع لثاني أكسيد السيليكون. على عكس C4F8 (H318)، مع C4F6 (H2316)، يتم حفر الغشاء الدييكتري فقط. يمتلك الهيكل المحفور نسبة طول إلى عرض أعلى، مما يؤدي إلى خنادق أضيق مقارنة بـ c-C4F8. تُقلل انبعاثات المركبات العضوية المتطايرة: C4F6 (H2316) لديه إمكانية دفء عالمي منخفضة لأنه يبقى في الغلاف الجوي لمدة أقصر.
تطبيق:
الجيل التالي من مواد النواة المطلوبة في عمليات إنتاج LSI لتقليل عرض خط الدائرة وعمقه. يتم استخدام غاز الحفر الجاف في عملية حفر فتحات الاتصال الدقيقة. بالنسبة للغازات الخاصة المستندة إلى الصيغة الكيميائية CxFy، كلما كان قيمة F/C أصغر، تم إنتاج المزيد من مجموعات CF2. مقارنة بـ C2F6 وC3F8، لدى C4F6 نسبة F/C أصغر ويتم إنتاج المزيد من مجموعات CF2، والتي بدورها تحفر فيلم أكسيد أكثر. لذلك، لدى C4F6 اختيارية أعلى لفيلم الأكسيد وتسمح بحفر أكثر انتظامًا.
