جميع الاقسام

الغازات المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات

توجد أشباه الموصلات في كل شيء، بدءًا من الهواتف الذكية وأجهزة الكمبيوتر الشخصية وحتى أي نوع آخر من الأدوات الإلكترونية. يجب أن يتم تصنيعها من خلال عملية محددة واستخدام العديد من الغازات. يسلط ما يلي الضوء على أنواع عديدة من الغازات التي يستخدمها صناعي واحد فقط، وكيف أن هذه المواد عالية التقنية مخصصة لصنع الأشياء التي نعتمد عليها بالفعل. أنواع الغاز العديدة والمختلفة المستخدمة في عوالم تصنيع أشباه الموصلات يتم تشكيل أشباه الموصلات باستخدام سلسلة معقدة من العمليات مثل النقش والترسيب والتنظيف. تختلف الخصائص والتطبيقات المختلفة لهذه الغازات باختلاف الاستخدامات أو الظروف الجوية المحددة، سواء كان ذلك حول موردي الغاز الصناعي، أو موردي غاز أشباه الموصلات المتخصصين المشهورين، أو في المختبر، مما يوفر نطاقًا واسعًا يناسبهم جميعًا مع الخصائص الحرجة المطلوبة لإنجاز المهمة على أنها مرضية مقصودة. لهذا السبب، نقدم اليوم عددًا قليلاً من الغازات الرائدة المستخدمة في عمليات تصنيع المواد. Silane SiH4: هذا الغاز عديم اللون ويتم تمثيله أيضًا كمواد إلكترونية كبيرة تعتمد على السيليكون. ومن المعروف أنه ديناميكي للغاية ويتفاعل بسرعة مع الأكسجين والماء لتكوين أكسيد السيليكون SiO وغاز الهيدروجين. يمكن استخدام السيلان لوضع المادة القائمة على السيليكون، مثل SiNx، إما بسرعة أو عند درجة حرارة منخفضة نسبيًا. عنصر النيتروجين N2: هذا الغاز خامل ويمنع الأكسدة. يتم تصنيعه بشكل مستمر وهو مطلوب لتطهير الجهاز أثناء عملية الصيانة لإزالة تدفق الأكسجين والرطوبة. سيتم استخدام مثل هذا الغاز لتسهيل ونقل أنشطة الغازات الأخرى أيضًا، والعمل كغاز حامل في ترسيب بخار النيتشروم وترسيب بخار النيتشروم المعزز بالبلازما.

الهيدروجين (H2) - يستخدم الهيدروجين كغاز مختزل عن طريق إزالة الشوائب من المواد. وفي صناعة أشباه الموصلات، يتم إدخال خطوة استيراد إلى عدة عمليات مثل التلدين والتنظيف، بالإضافة إلى أن الهيدروجين يصنع البوابة المعدنية التي يتم من خلالها إنتاج أجهزة cmos المتقدمة.

الأكسجين المستقر (O2/O) - أدخل الفترات الزمنية للصفائح والمواصفات، وما إلى ذلك. غاز O بينما يتم استخدام الأكسجين في العديد من عمليات البلازما مثل الحفر والتقطيع/الرماد o ]]>، فإنه يعمل أيضًا كمادة متفاعلة لأكسدة السيليكون القائم المواد إلى SiOx أو تخميل الأسطح المعدنية من خلال الأكسدة.

الكلور (Cl2): الكلور مادة صفراء أو حمراء مدخنة، غير معدنية ذات رائحة نفاذة كسائل. شهد هذا الغاز، الذي يتفاعل بشكل كبير مع المواد القائمة على السيليكون وثاني أكسيد السيليكون والعديد من المعادن مثل الألومنيوم، عددًا من التطبيقات في حفر هياكل أشباه الموصلات.

    اكتشاف أفضل تطبيقات غازات أشباه الموصلات وفوائدها

    إن حقيقة استخدام الغازات في إنتاج أشباه الموصلات أدت إلى إنشاء إلكترونيات عالية الدقة، كما تم إنتاجها من خلال زيادة قدرات تصنيع أشباه الموصلات. للغازات أيضًا العديد من الاستخدامات والمزايا المهمة في صناعة أشباه الموصلات.

    تُستخدم الغازات مثل السيلان والأمونيا والنيتروجين لترسيب أكسيد السيليكون أو النتريد الذي سيكون بمثابة الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات. إيداع.

    النقش: يتم استخدامه لإزالة المواد أو الأنماط غير المرغوب فيها بشكل انتقائي من أشباه الموصلات باستخدام غازات مثل الكلور والفلور والأكسجين.

    غازات المعالجة: الهيدروجين والنيتروجين مطلوبان لتشغيل معدات تنظيف أشباه الموصلات (التنقية) من أجل تقليل الشوائب التي قد تؤثر على أداء الجهاز.

    التطهير: أحد الاستخدامات الرئيسية له هو أنه يعمل كغاز تطهير عندما تكون أعمال الصيانة على المعدات مستمرة، وذلك لإزالة الأكسجين والرطوبة من النظام وبالتالي الحفاظ على المواد في الخط خالية.

    لماذا تختار غازات AGEM المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات؟

    فئات المنتجات ذات الصلة

    لم تجد ما تبحث عنه؟
    اتصل بمستشارينا لمزيد من المنتجات المتاحة.

    طلب اقتباس الآن