توجد أشباه الموصلات في كل شيء، بدءًا من الهواتف الذكية وأجهزة الكمبيوتر الشخصية وحتى أي نوع آخر من الأدوات الإلكترونية. يجب أن يتم تصنيعها من خلال عملية محددة واستخدام العديد من الغازات. يسلط ما يلي الضوء على أنواع عديدة من الغازات التي يستخدمها صناعي واحد فقط، وكيف أن هذه المواد عالية التقنية مخصصة لصنع الأشياء التي نعتمد عليها بالفعل. أنواع الغاز العديدة والمختلفة المستخدمة في عوالم تصنيع أشباه الموصلات يتم تشكيل أشباه الموصلات باستخدام سلسلة معقدة من العمليات مثل النقش والترسيب والتنظيف. تختلف الخصائص والتطبيقات المختلفة لهذه الغازات باختلاف الاستخدامات أو الظروف الجوية المحددة، سواء كان ذلك حول موردي الغاز الصناعي، أو موردي غاز أشباه الموصلات المتخصصين المشهورين، أو في المختبر، مما يوفر نطاقًا واسعًا يناسبهم جميعًا مع الخصائص الحرجة المطلوبة لإنجاز المهمة على أنها مرضية مقصودة. لهذا السبب، نقدم اليوم عددًا قليلاً من الغازات الرائدة المستخدمة في عمليات تصنيع المواد. Silane SiH4: هذا الغاز عديم اللون ويتم تمثيله أيضًا كمواد إلكترونية كبيرة تعتمد على السيليكون. ومن المعروف أنه ديناميكي للغاية ويتفاعل بسرعة مع الأكسجين والماء لتكوين أكسيد السيليكون SiO وغاز الهيدروجين. يمكن استخدام السيلان لوضع المادة القائمة على السيليكون، مثل SiNx، إما بسرعة أو عند درجة حرارة منخفضة نسبيًا. عنصر النيتروجين N2: هذا الغاز خامل ويمنع الأكسدة. يتم تصنيعه بشكل مستمر وهو مطلوب لتطهير الجهاز أثناء عملية الصيانة لإزالة تدفق الأكسجين والرطوبة. سيتم استخدام مثل هذا الغاز لتسهيل ونقل أنشطة الغازات الأخرى أيضًا، والعمل كغاز حامل في ترسيب بخار النيتشروم وترسيب بخار النيتشروم المعزز بالبلازما.
الهيدروجين (H2) - يستخدم الهيدروجين كغاز مختزل عن طريق إزالة الشوائب من المواد. وفي صناعة أشباه الموصلات، يتم إدخال خطوة استيراد إلى عدة عمليات مثل التلدين والتنظيف، بالإضافة إلى أن الهيدروجين يصنع البوابة المعدنية التي يتم من خلالها إنتاج أجهزة cmos المتقدمة.
الأكسجين المستقر (O2/O) - أدخل الفترات الزمنية للصفائح والمواصفات، وما إلى ذلك. غاز O بينما يتم استخدام الأكسجين في العديد من عمليات البلازما مثل الحفر والتقطيع/الرماد o ]]>، فإنه يعمل أيضًا كمادة متفاعلة لأكسدة السيليكون القائم المواد إلى SiOx أو تخميل الأسطح المعدنية من خلال الأكسدة.
الكلور (Cl2): الكلور مادة صفراء أو حمراء مدخنة، غير معدنية ذات رائحة نفاذة كسائل. شهد هذا الغاز، الذي يتفاعل بشكل كبير مع المواد القائمة على السيليكون وثاني أكسيد السيليكون والعديد من المعادن مثل الألومنيوم، عددًا من التطبيقات في حفر هياكل أشباه الموصلات.
إن حقيقة استخدام الغازات في إنتاج أشباه الموصلات أدت إلى إنشاء إلكترونيات عالية الدقة، كما تم إنتاجها من خلال زيادة قدرات تصنيع أشباه الموصلات. للغازات أيضًا العديد من الاستخدامات والمزايا المهمة في صناعة أشباه الموصلات.
تُستخدم الغازات مثل السيلان والأمونيا والنيتروجين لترسيب أكسيد السيليكون أو النتريد الذي سيكون بمثابة الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات. إيداع.
النقش: يتم استخدامه لإزالة المواد أو الأنماط غير المرغوب فيها بشكل انتقائي من أشباه الموصلات باستخدام غازات مثل الكلور والفلور والأكسجين.
غازات المعالجة: الهيدروجين والنيتروجين مطلوبان لتشغيل معدات تنظيف أشباه الموصلات (التنقية) من أجل تقليل الشوائب التي قد تؤثر على أداء الجهاز.
التطهير: أحد الاستخدامات الرئيسية له هو أنه يعمل كغاز تطهير عندما تكون أعمال الصيانة على المعدات مستمرة، وذلك لإزالة الأكسجين والرطوبة من النظام وبالتالي الحفاظ على المواد في الخط خالية.
ونتيجة لذلك، فإن السعي للحصول على مواد وعمليات أكثر تعقيدًا لا يرى نهاية مع تقدم صناعة أشباه الموصلات. تعتبر الغازات المحسنة ضرورية للتقدم القادم في أشباه الموصلات. فيما يلي عدد قليل من هذه الغازات عالية التقنية المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات:
الفلوروكربونات: السبب في أن الغازات المفلورة جيدة لتصنيع أحدث تصميمات الدوائر هو أنها تتفاعل بقوة وانتقائية مع كل من الحفر (إزالة القطع) والترسيب (إضافة أجزاء).
ثاني أكسيد الكربون - غاز خامل يستخدم في تطبيقات مثل الرش والأمراض القلبية الوعائية والتنظيف.
في حين ينبغي أن ينظر إليها على أنها خطوة إلى الأمام في تصنيع أشباه الموصلات، ويرجع ذلك فقط إلى أنظمة التوصيل الجديدة الممكنة اليوم. يبحث المصنعون دائمًا عن طرق لتحسين الكفاءة وتقليل النفايات وزيادة السلامة. بعض من أحدث الغازات المتقدمة وأنظمة توصيل المواد الكيميائية المتاحة الآن مدرجة أدناه مباشرة.
نظام توصيل الغاز (للغازات التي تتحكم بدقة في كميات صغيرة من الغازات / المواد الكيميائية السائلة اللازمة في أشباه الموصلات)
المصدر: أنظمة تنظيف الرقاقات الرطبة المتقدمة، بلازما الأوزون وبيروكسيد الهيدروجين لأكثر الطرق فعالية لتنظيف الشوائب من المواد شبه الموصلة.
يمكن لغازات أشباه الموصلات أن تدفع الطلب على إلكترونيات أكثر فعالية ولكنها تشكل أيضًا تهديدات بيئية خطيرة. هناك بعض البرامج المعمول بها لتقليل النفايات وإعادة تدوير الغاز من بين أشياء أخرى في صناعة أشباه الموصلات. وهذا لا يختلف عن الطريقة التي يعمل بها المصنعون على تهدئة المخاوف البيئية المرتبطة بغازات أشباه الموصلات؛
الأول والأكثر مباشرة، هو تقليل النفايات -> يبحث المصنعون دائمًا عن تقليل كمية النفايات الناتجة أثناء تصنيع أشباه الموصلات. أشياء مثل تقليل كميات المواد الكيميائية والغازات المستخدمة، وإعادة التدوير حيثما أمكن ذلك، أو إنشاء أنظمة حلقة مغلقة.
إعادة التدوير ستكون إعادة تدوير الغازات والمواد الكيميائية طريقة حاسمة أخرى تساعد في تقليل النتائج البيئية. يمكن تقليل توليد النفايات بسهولة كبيرة من قبل الشركات المصنعة التي تسمح باستعادة وتنقية وإعادة تدوير الغازات أو المواد الكيميائية المستخدمة أثناء الإنتاج.
ملخص: الغازات ضرورية لتصنيع بعض أفضل الأجهزة الإلكترونية المتوفرة. يلتزم المصنعون بتحسين كل من الغازات المتقدمة إلى جانب حلول التسليم التي تفضل العمليات المثلى وتقليل النفايات وسلامة المجتمع. سوف يسير قطاع أشباه الموصلات على مسار استهلاك الغاز أيضًا، وقد أطلقت البصمة البيئية الشاملة لهذه الغازات العديد من حملات الاستدامة في السنوات الأخيرة.
تدرك AGEM أن كل عميل يحتاج إلى أشياء مختلفة في مجال الغازات المتخصصة، مثل غاز المعايرة. نحن نقدم حلولاً مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لعملائنا. إذا كنت تحتاج إلى كمية نقاء محددة أو حجم أسطوانة أو خيارات تعبئة محددة، فيمكن لشركة AGEM العمل معك لتصميم منتجاتها وفقًا لمتطلباتك الدقيقة. ستضمن لك هذه الدرجة من التخصيص حصولك على أفضل أسطوانة غاز معايرة لتطبيقاتك مما سيؤدي إلى تحسين الكفاءة والأداء بشكل عام. لا يقتصر نطاق منتجات AGEM على غازات المعايرة. يشتمل كتالوج AGEM على الغازات الهيدروكربونية والهالوكربونات والغازات الكيميائية والغازات النادرة. يمكنك التأكد من حصول AGEM على النوع المحدد من الغاز الذي تحتاجه.
يمثل تسرب الغازات المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات مشكلة كبيرة. نقوم باختبار التسربات خمس مرات على الأقل لضمان الجودة. تقدم شركتنا خط إنتاج واختبار كامل وتطبيق مراقبة الجودة الصارمة ونظام خدمة ما بعد البيع المثالي، لضمان حصول العملاء على منتجات عالية الجودة ومجموعة كاملة من الخدمات. إن تفانينا في تقديم خدمة عملاء ممتازة وعالية الجودة هو شيء نفخر به. فريقنا الماهر موجود دائمًا لمساعدتك والتأكد من حصولك على أفضل خدمة لتحقيق أقصى قدر من الرضا. خدمتنا على مدار 24 ساعة طوال أيام الأسبوع هي ما يميزنا. نحن هنا من أجلك طوال اليوم، في كل وقت.
تقدم AGEM مجموعة واسعة من الأسطوانات المبردة لتبريد السوائل والغازات فائقة التبريد مثل الأكسجين السائل والأرجون. يمكنهم أيضًا الاحتفاظ بثاني أكسيد الكربون والنيتروجين والنيتروز. نحن نستخدم الصمامات والأدوات المستوردة لضمان أقصى قدر من الأداء. الاستفادة من أجهزة توفير الغاز وإعطاء الأولوية لاستخدام الغاز ذو الضغط الزائد في مساحة مرحلة الغاز. توفر صمامات الأمان المزدوجة ضمانًا قويًا للتشغيل الآمن. نحن نقدم مجموعة واسعة من الأسطوانات المبردة التي يمكنها استيعاب السوائل فائقة التبريد واستخدامها في الحياة اليومية. الحجم الكامل: 80 لتر / 100 لتر / 175 لتر / 195 لتر / 210 لتر / 232 لتر / 410 لتر / 500 لتر/1000 لتر ضغط العمل: 1.37 ميجا باسكال/2.3 ميجا باسكال/2.88 ميجا باسكال/3.45 ميجا باسكال درجة حرارة تصميم الخزان الداخلي: +196 درجة حرارة تصميم الخزان: 20 درجة مئوية + 50 درجة العزل: فراغ مع ملفوف متعدد الطبقات وسط مخزن: LO2، LN2، LArLCO2، LNG
تعمل AGEM في تايوان منذ أكثر من 25 عامًا. لدينا خبرة واسعة في مجال البحث والتطوير في هذا المجال ويمكننا تقديم خبرة فريدة في مجالات الغازات المتخصصة والغازات السائبة والمعايرة عبر 6 مناطق مختلفة. تايوان - مدينة كاوشيونغ (المقر الرئيسي، مركز البحث والتطوير) الهند - مومباي، فادودارا، كويمباتور، بيون، بنغالورو، دلهي الصين - ووهان الشرق الأوسط - دبي (الإمارات العربية المتحدة) والمملكة العربية السعودية المملكة المتحدة - كامبريدج تشمل حلول الغاز التي نقدمها الاستشارات الفنية. التجميع والتشغيل. اختبار العينة. التعبئة والشحن. تصميم الرسم. تصنيع.